[发明专利]磁控管组件及磁控溅射设备

权利要求书

1.一种磁控管组件，包括安装背板和多个磁体组件，其特征在于，所述安装背板包括多个子安装背板；

相邻两个所述子安装背板采用固定件进行可拆卸固定安装；

所述多个磁体组件按照预设排列方式安装在所述安装背板上，以模拟不同等离子体闭合路径长短所需的磁控管；其中，

多个所述子安装背板沿圆周方向依次设置；并且，

多个所述子安装背板的大小和形状相同。

2.根据权利要求1所述的磁控管组件，其特征在于，所述固定件包括第一固定片、第二固定片和固定柱；

所述第一固定片和所述第二固定片对应相邻两个所述子安装背板的连接处设置，且分别位于相邻两个所述子安装背板的上表面和下表面上；

所述固定柱贯穿所述子安装背板、第一固定片和第二固定片，用以将该相邻两个所述子安装背板限制在所述第一固定片和所述第二固定片之间。

3.根据权利要求2所述的磁控管组件，其特征在于，所述固定柱为螺钉，采用螺纹固定方式固定。

4.根据权利要求1所述的磁控管组件，其特征在于，多个所述子安装背板包括一个中心子安装背板和至少两个环状的子安装背板，且至少两个环状的子安装背板各自的内径大小不同；

至少两个环状的所述子安装背板沿径向依次套置在所述中心子安装背板的外侧。

5.根据权利要求4所述的磁控管组件，其特征在于，环状的所述子安装背板的内轮廓形状和外轮廓形状与所述中心子安装背板的外轮廓形状相似。

6.根据权利要求1所述的磁控管组件，其特征在于，每个所述磁体组件包括：磁体、上盖板和下盖板；

所述磁体固定在所述上盖板和下盖板之间；

所述下盖板固定在所述子安装背板上。

7.根据权利要求6所述的磁控管组件，其特征在于，在所述子安装背板上设置有多个通孔，并且在所述下盖板上设置有螺纹安装孔；

借助螺钉穿过所述通孔与所述螺纹安装孔固定。

8.一种磁控溅射设备，包括磁控管组件，其特征在于，所述磁控管组件采用权利要求1-7任意一项所述的磁控管组件。