[发明专利]一种利用磁控溅射法在铝合金表面制备TiN或CrN薄膜的方法有效
| 申请号： | 201610294033.0 | 申请日： | 2016-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN105925946B | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 王亚男;陈东旭;陈琦;周艳文;张力元 | 申请（专利权）人： | 辽宁科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 鞍山嘉讯科技专利事务所 21224 | 代理人： | 张群 |
| 地址： | 114044 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 磁控溅射 铝合金 表面 制备 tin crn 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
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