[发明专利]一种蒸镀载板及蒸镀装置

说明书

本发明公开了一种蒸镀载板及蒸镀装置，属于蒸镀设备领域。所述蒸镀载板包括载板和降粘部，所述降粘部设置在所述载板上，OLED基板通过敏感胶固定在所述载板的一侧表面上，所述降粘部用于在蒸镀完成后降低所述敏感胶的粘性。本发明通过降粘部在蒸镀完成后降低敏感胶的粘性，使OLED基板和蒸镀载板分离，避免通过外力使蒸镀载板和OLED基板分离而导致OLED基板发生变形、产生碎片或整体破碎的情况，进而避免影响生产节拍和产品良率。

技术领域

本发明涉及蒸镀设备领域，特别涉及一种蒸镀载板及蒸镀装置。

背景技术

在制造OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)时，使用坩埚将用于制作OLED的有机材料蒸镀到OLED基板上。其中，坩埚和OLED基板均置于真空的蒸镀腔室内，且OLED基板通过蒸镀载板固定于坩埚的上方。

目前的蒸镀载板包括载板，载板上设有针脚孔，在蒸镀时，先使用粘性吸盘胶将OLED基板粘附在载板的下表面上，再将载板转入蒸镀腔室，使用坩埚将用于制作OLED的有机材料蒸镀到OLED基板上，蒸镀完成后，翻转载板以使载板上设置OLED基板的一面朝上，操作人员操作针脚装置使针脚装置的顶针由下至上穿过载板上的针脚孔，并将OLED基板顶起，从而使蒸镀载板和OLED基板分离。

在实现本发明的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：

现有技术中通过针脚装置的顶针施加的外力使OLED基板与蒸镀载板分离，在顶针顶起OLED基板的位置，OLED基板局部受力较大，容易发生变形，且当粘性吸盘胶的吸附力足够强时，还会导致OLED基板产生碎片或整体破碎，影响生产节拍和产品良率。

发明内容

为了解决现有技术中通过顶针装置的顶针施加的外力使OLED基板与蒸镀载板分离，容易导致OLED基板发生变形、产生碎片或整体破碎，影响生产节拍和产品良率的问题，本发明实施例提供了一种蒸镀载板及蒸镀装置。所述技术方案如下：

一方面，提供了一种蒸镀载板，所述蒸镀载板包括载板和降粘部，所述降粘部设置在所述载板上，OLED基板通过敏感胶固定在所述载板的一侧表面上，所述降粘部用于在蒸镀完成后降低所述敏感胶的粘性。

具体地，所述敏感胶为光敏胶或热敏胶。

进一步地，所述敏感胶为热敏胶，所述降粘部包括冷却管道和低温流体供应部，所述冷却管道设置在所述载板上，且所述冷却管道的位置与所述载板上涂热敏胶的位置对应；

蒸镀完成后，所述低温流体供应部通过其输出端与所述冷却管道的输入端连通，通过其输入端与所述冷却管道的输出端连通，所述低温流体供应部用于向所述冷却管道提供低温流体。

进一步地，所述降粘部还包括第一单向阀和第二单向阀，所述第一单向阀设置在所述低温流体供应部的输出端与所述冷却管道的输入端之间，所述第二单向阀设置在所述低温流体供应部的输入端与所述冷却管道的输出端之间。

进一步地，所述降粘部还包括第一流量调节阀和第二流量调节阀，所述第一流量调节阀设置在所述第一单向阀和所述冷却管道的输入端之间，所述第二流量调节阀设置在所述冷却管道的输出端与所述第二单向阀之间。

具体地，所述载板内部设有空腔，所述冷却管道设置在所述空腔内。

具体地，所述载板背离所述OLED基板的一侧表面上设有凹槽，所述凹槽的位置与所述载板上涂有热敏胶的位置对应，所述冷却管道安装在所述凹槽内。

具体地，所述低温流体为冷却水、低温乙醇或液态氮。

进一步地，所述蒸镀载板还包括针脚装置，所述载板上设有针脚孔，在所述敏感胶的粘性降低后，所述针脚装置的顶针从所述针脚孔中伸出并顶起所述OLED基板。