[发明专利]电源系统、等离子体处理装置和电源控制方法有效
| 申请号： | 201610168860.5 | 申请日： | 2016-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN105990088B | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 平野太一;石桥淳治;伊藤惠贵;佐藤邦纮 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;王雪燕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电源 系统 等离子体 处理 装置 控制 方法 | ||
【说明书】：
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