[发明专利]基于DMD的动态掩模的水凝胶微柱阵列的快速制作方法在审

专利信息
申请号: 201610167947.0 申请日: 2016-03-23
公开(公告)号: CN107229189A 公开(公告)日: 2017-10-03
发明(设计)人: 刘连庆;杨文广;于海波;王越超 申请(专利权)人: 中国科学院沈阳自动化研究所
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;C08F220/28;C08F2/48;B81C1/00
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司21002 代理人: 徐丽,周秀梅
地址: 110016 *** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 基于 dmd 动态 凝胶 阵列 快速 制作方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种快速制作水凝胶微柱阵列的技术,具体的说是一种基于DMD(数字微镜阵列)的动态掩模的水凝胶微柱阵列的快速制作方法。

背景技术

随着20世纪80年代后期微机电系统(MEMS)的兴起,微加工技术作为微机电系统所必需的一个手段,引起了人们的广泛重视并得到了快速的发展。微加工技术已经成为一门多学科交叉的制造系统工程和综合高新技术,广泛应用于医疗、生物工程、半导体工业等领域,这一领域的发展对未来的国民经济、科学技术等奖产生巨大的影响,先进国家纷纷将之列为未来关键技术之一。

作为微加工技术的产品之一,微柱阵列在微电子机械系统,微光学器件以及生物微流体等领域有着广泛的应用。田青华等人利用紫外光刻技术加工PDMS的微柱阵列拓扑结构作为基底用来培养肝癌细胞,实验结果表明基底拓扑结构是影响肝癌细胞形态功能的重要微环境因素,为细胞功能表型优化提供了重要的工程化手段。丁继亮等人利用PDMS制作的微柱阵列来分选不同的细胞。丁建东课题组利用设计的高分子微柱阵列,可以引起细胞核发生严重的自我变形。中科院力学所的赵亚溥研究员在固体表面本征湿润性能和拓扑结构的共同作用下,使得微柱阵列亲液表面成为超亲液表面,解决了该应用领域瓶颈问题。

现有的制作微柱阵列的方法主要有LIGA,ICP、软光刻和激光直写等。LIGA即光刻、电铸和注塑的缩写,是一种基于X射线光刻技术的MEMS加工技术,其可以制造大深宽比的微结构,但是却需要昂贵的设备;ICP即等离子体刻蚀工艺,在成型材料上有很大的限制,同时设备昂贵。最为常用的软光刻技术虽然易于操作,但是其工艺步骤过于繁琐(包括气相成底模、旋转烘胶、软烘、对准和曝光、显影、坚膜烘焙、显影检查等),导致制作的耗时较长。激光直写技术是今年来新兴的微加工技术之一,该技术具有高分辨率、高稳定性等优点,但是,该技术一般利用的是线扫描模式,加工时间比较长。

发明内容

针对现有技术中存在的上述不足之处,本发明要解决的技术问题是提供一种基于DMD的动态掩模的水凝胶微柱阵列的快速制作方法。

本发明为实现上述目的所采用的技术方案是:一种基于DMD的动态掩模的水凝胶微柱阵列的快速制作方法,包括以下步骤:

将设计的二进制微柱阵列图形导入到数字微镜阵列中,并将聚乙二醇二丙烯酸甲酯PEGDA与光引发剂2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦TPO的混合溶液滴在基底表面;

数字微镜阵列将紫外入射光反射到聚焦物镜组中,并投射到基底表面;

调整紫外入射光激光器的功率,激发混合溶液发生交联反应并固化粘附在基底表面,使固化后的水凝胶微柱阵列形状与设计图形的形状和光斑形状一致;

进行水凝胶微柱阵列的生长培养。

所述混合溶液为使用75%的酒精配置的聚乙二醇二丙烯酸酯PEGDA和光引发剂TPO混合溶液,PEGDA的浓度为40%,TPO的浓度为0.5wt%。

所述混合溶液的制备方法包括以下步骤:

将PEGDA溶于酒精之中,待搅拌均匀后再加入光引发剂TPO,PEGDA的最终浓度为40%,TPO的浓度为0.5wt%。

所述交联反应具体为:经过投影物镜组的缩束后投射到玻璃基底上的图形诱导引发剂在紫外光的照射下产生自由基,并于PEGDA单体结合从而引发自由基聚合反应。

所述基底为玻璃。

所述进行水凝胶微柱阵列的生长培养,具体为:通过设计输入DMD的图片中的单个微柱图形的尺寸来控制所生长的水凝胶微柱的尺寸。

所述投影物镜组包含一个焦距为35mm的平凹紫外增透透镜,一个焦距为25mm的平凸紫外增透透镜和一个10倍紫外聚焦物镜,各个透镜按次序从下到上依次为平凸紫外增透透镜、平凹紫外增透透镜和10倍紫外聚焦物镜。

本发明可实现动态化,程序化的水凝胶的微柱阵列的快速制作,并不需要任何物理模板,制作过程简单,对环境要求低。具体具有以下特点:

1.紫外光照射激发光引发产生自由基,自由基与PEGDA单体相结合,从而引发水凝胶的交联反应。自由基只在光斑照射的地方存在。

2.通过控制设计光斑的形状来控制PEGDA交联聚合后的微柱阵列的形状。利用这种微柱阵列的制作方法,可以不需要物理模板,直接根据所需形状设计光斑,并且可以动态化的控制水凝胶微柱阵列的形状、尺寸和位置。

附图说明

图1为本发明的原理图;

图2为光斑照射到玻璃基底上后生成微柱阵列的示意图;

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