[发明专利]圆形波导内H11模式电磁波对等离子体的加热装置

权利要求书

1.圆形波导内H₁₁模式电磁波对等离子体的加热装置，其特征在于，它包括微波发生器(1)、铁氧体绝缘器(2)、探测器(3)、波导连接器(4)、真空微波窗(5)、4个真空泵(6)、圆形波导(7)、两根管路(8)、微波负载(9)和磁线圈(10)；

波导连接器(4)包括波导连接主体(4-1)和接收管路(4-2)，波导连接主体(4-1)的外轮廓呈圆台形，波导连接主体(4-1)的小端入口与接收管路(4-2)的出口呈垂直连接；接收管路(4-2)内设置铁氧体绝缘器(2)；

所述的微波发生器(1)向接收管路(4-2)入口发射的微波信号经铁氧体绝缘器(2)进入波导连接主体(4-1)的小端入口，波导连接主体(4-1)的大端出口与圆形波导(7)的入口连通，波导连接主体(4-1)与圆形波导(7)之间设置真空微波窗(5)，两根管路(8)分别设置在圆形波导(7)的左右两侧，与圆形波导(7)垂直连通，且两根管路(8)位于同一条直线上，

两根管路(8)的管壁上均缠绕有磁线圈(10)；

接收管路(4-2)上开设有孔，该孔内插有探测器(3)，用于探测流经铁氧体绝缘器(2)之后的微波信号；

所述的4个真空泵(6)中，第一个真空泵(6)设置在圆形波导(7)的一端，第二个真空泵(6)设置在圆形波导(7)的另一端，第三个真空泵(6)设置在一根管路(8)上，第四个真空泵(6)设置在另一根管路(8)上；

圆形波导(7)的另一端内插有微波负载(9)。

2.根据权利要求1所述的圆形波导内H₁₁模式电磁波对等离子体的加热装置，其特征在于，它还包括静电分析器(11)和质谱仪(12)；

所述的静电分析器(11)用于检测圆形波导(7)的另一端输出的离子束的静电；

质谱仪(12)用于对圆形波导(7)的另一端输出的离子束进行分离和检测。

3.根据权利要求1所述的圆形波导内H₁₁模式电磁波对等离子体的加热装置，其特征在于，所述圆形波导(7)的直径为14cm，管路(8)的长度为6m，管路(8)的直径为4cm。

4.根据权利要求1所述的圆形波导内H₁₁模式电磁波对等离子体的加热装置，其特征在于，它还包括两个真空泵(6)，该两个真空泵(6)分别定义为第五个真空泵(6)和第六个真空泵(6)，且第五个真空泵(6)和第六个真空泵(6)分别设置在两根管路(8)上。