[发明专利]极低振动氦气蓄冷系统

权利要求书

1.一种极低振动氦气蓄冷系统，其特征在于：包括氦腔(10)、制冷机(20)以及与制冷机(20)相连的压缩机(30)；所述氦腔(10)内部呈中空状形成用于容纳氦气的腔室，氦腔(10)的一端与制冷机(20)的冷头相连，另一端与样品安装座(41)相连，待测试样品(42)固定安装在样品安装座(41)上，

该极低振动氦气蓄冷系统还包括充气管(61)，充气管(61)的一端与氦腔(10)的腔室连通，另一端通过减压阀(65)与高纯氦气瓶(66)相连或者通过流量调节器(67)与制冷机(20)和压缩机(30)之间的管道相连，

所述的制冷机(20)包括一级冷头(21)和二级冷头(22)，氦腔(10)与二级冷头(22)相连；所述的充气管(61)为不锈钢管，充气管(61)沿着一级冷头(21)的换热器布置并环绕二级冷头(22)的气缸多圈后再与氦腔(10)相连。

2.如权利要求1所述的极低振动氦气蓄冷系统，其特征在于：所述的氦腔(10)包括呈圆管状的氦腔本体(11)，氦腔本体(11)的两端通过盲盖(12)密封形成所述腔室，氦腔本体(11)和盲盖(12)均为无氧铜材质制成；其中一个盲盖(12)与制冷机(20)的二级冷头(22)固定连接，样品安装座(41)通过热阻垫片(43)固定在另一个盲盖(12)上。

3.如权利要求2所述的极低振动氦气蓄冷系统，其特征在于：所述的样品安装座(41)上设置有第一薄膜加热器(411)用于对样品(42)的温度进行控制，二级冷头(22)上设置有第二薄膜加热器(221)用于调节制冷量；所述的样品安装座(41)上还设置有温度传感器(412)，控制单元(50)接收温度传感器(412)采集到的实际温度信息并将实际温度与设定温度对比后控制第一薄膜加热器(411)工作。

4.如权利要求3所述的极低振动氦气蓄冷系统，其特征在于：所述充气管(61)的另一端通过减压阀(65)与高纯氦气瓶(66)相连；一级冷头(21)远离二级冷头(22)的一端设置有第一连接法兰(23)，二级冷头(22)、氦腔(10)、样品安装座(41)和样品(42)外侧套设有第一防辐射屏(71)，一级冷头(21)和第一防辐射屏(71)外侧包扎有单面镀铝薄膜，单面镀铝薄膜外侧套设有外壳(80)，外壳(80)呈一端开口的桶装且其开口一端固定在第一连接法兰(23)上。

5.如权利要求3所述的极低振动氦气蓄冷系统，其特征在于：所述充气管(61)的另一端通过流量调节器(67)与制冷机(20)和压缩机(30)之间的管道相连；二级冷头(22)靠近一级冷头(21)的一端设置有第二连接法兰(24)，二级冷头(22)、氦腔(10)、样品安装座(41)以及样品(42)外侧套设有第二防辐射屏(72)，第二防辐射屏(72)固定在第二连接法兰(24)上，流量调节器(67)、制冷机(20)以及第二防辐射屏(72)均置于恒温器(90)中。

6.如权利要求4所述的极低振动氦气蓄冷系统，其特征在于：与高纯氦气瓶(66)相连的充气管(61)依次经过减压阀(65)、流量计(64)、压力变送器(63)、安全阀(62)后通过第一连接法兰(23)顺延到一级冷头(21)的换热器上；控制单元(50)采集流量计(64)、压力变送器(63)输出的信息并处理后控制安全阀(62)动作。