[发明专利]一种高纯、高致密、大尺寸钼钛合金溅射靶材的制备方法

权利要求书

1.一种高纯、高致密、大尺寸钼钛合金溅射靶材的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

（1）混料：选择钼和氢化钛作为粉体原料，两种粉体在氩气保护气氛中进行混合得到合金粉末：将钼和氢化钛按比例混合，在行星高能球磨机中球磨，球磨时在氩气保护中进行，球料比为1.5~2:1，球磨时间为24~36h，然后在氩气保护下在三维混料机中混合均匀；

（2）压制成型：将混合好的粉体原料装入胶套模具中进行冷等静压处理，得到压制毛坯；冷等静压处理的压制压力为100~200MPa，压制时间为4~10分钟；

（3）烧结：将压制毛坯在真空烧结炉中进行第一阶段脱氢烧结和第二阶段致密化烧结，最终得到烧结毛坯；第一阶段脱氢烧结温度为1000℃，真空度为1×10^-3Pa，烧结时间为6小时；第二阶段致密化烧结温度为1650℃，烧结气氛为氩气，烧结时间为9小时；

（4）轧制：将烧结毛坯在氩气保护气氛下进行加热，随后进行轧制加工得到一定规格的靶材毛坯；轧制温度为1000~1300℃，轧制采用2~6次加热，每次加热后轧制二道次的工艺，轧制总变形率为40~75%；

（5）退火：将靶材毛坯在氩气保护气氛下进行退火处理；退火温度为900~1100℃，退火时间为1~4小时；

（6）机械加工：将退火之后的靶材毛坯进行机械加工得到钼钛合金溅射靶材产品。

2.根据权利要求1所述的一种高纯、高致密、大尺寸钼钛合金溅射靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤（1）中钼的平均粒径为10~14μm，纯度≥99.99%；所述氢化钛的平均粒径为20~25μm，纯度≥99.9%。

3.根据权利要求1所述的一种高纯、高致密、大尺寸钼钛合金溅射靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤（1）合金粉末中钼和钛原子比为4~9:1。