[发明专利]铜表面粗化微蚀刻液及其应用方法

权利要求书

1.一种铜表面粗化微蚀刻液，其特征在于：所述铜表面粗化微蚀刻液其主要成分包括：硝酸2.5～6.0mol/L、无机酸盐10～80g/L、不饱和脂肪酸和/或不饱和脂肪酸盐0.5～30g/L、脂肪胺1-30g/L和余量去离子水；

其中所述无机酸盐为硝酸盐、磷酸铁和氯化铁的至少一种；所述不饱和脂肪酸为顺丁烯二酸、反丁烯二酸、甲基丙烯酸和丙烯酸中的至少一种，所述不饱和脂肪酸盐为上述不饱和脂肪酸的钠盐、钾盐和铵盐中的至少一种；所述脂肪胺为乙二胺、二乙烯三胺、四乙烯五胺、单乙醇胺、三乙醇胺中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的铜表面粗化微蚀刻液，其特征在于：所述铜表面粗化微蚀刻液其主要成分包括：硝酸2.5～3.5mol/L、无机酸盐25～40g/L、不饱和脂肪酸和/或不饱和脂肪酸盐4～20g/L、脂肪胺10-15g/L和余量去离子水。

3.根据权利要求2所述的铜表面粗化微蚀刻液，其特征在于：所述不饱和脂肪酸和/或不饱和脂肪酸盐为反丁烯二酸和/或反丁烯二酸的钠盐、钾盐和铵盐中的至少一种。

4.一种采用权利要求1至3中任一权利要求所述的铜表面粗化微蚀刻液进行铜表面粗化微蚀刻的方法，其特征在于：将铜基材表面与所述铜表面粗化微蚀刻液接触进行粗化蚀刻，其中所述铜表面粗化微蚀刻液的温度为15～40℃。

5.根据权利要求4所述的铜表面粗化微蚀刻的方法，其特征在于：所述铜基材表面与铜表面粗化微蚀刻液接触的方式为将铜基材浸渍于铜表面粗化微蚀刻液中或将铜表面粗化微蚀刻液均匀喷淋于铜基材表面，其中喷淋的压力为0.05～0.25MPa。