[发明专利]液滴检查装置和液滴检查方法

说明书

本发明提供一种适当检查被排出到被排出体的液滴的液滴检查装置。液滴检查装置(1)包括：将紫外线照射到存在液滴(21)的检查片(20)上的照射区域(22)的照射部(10)；对液滴(21)(或检查片(20))发光的照射区域(22)进行拍摄的拍摄部(11)；设置在拍摄部(11)的光轴上、用于屏蔽在检查片(20)上反射的紫外线(31)的紫外线屏蔽滤光器(12)；和基于由拍摄部(11)拍摄的拍摄图像，计测液滴(21)的大小和检查片(20)上的液滴(21)的位置的计测部(13a)。

技术领域

本发明涉及检查被排出到被排出体的液滴检查装置，利用该液滴检查装置的液滴检查方法、程序和计算机存储介质。

背景技术

现有技术中，已知利用有机EL(Electroluminescence：场致发光)的发光的发光二极管即有机发光二极管(OLED：Organic Light Emitting Diode)。利用该有机发光二极管的有机EL显示器不仅薄且轻并且消耗电力低，而且还具有在响应速度、视角、对比度方面优异之类的优点，所以近年来作为下一代平板显示器(FPD：flat panel display)受到关注。

有机发光二极管具有在基板上的阳极和阴极之间夹着有机EL层的结构。有机EL层例如从阳极侧依次层叠空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层而形成。当形成这些有机EL层的各层(特别是空穴注入层、空穴传输层和发光层)时，例如使用以喷墨方式对基板上排出有机材料的液滴之类的方法。

但是，在有机发光二极管中，有机EL层的各层分别由几十nm的薄膜形成，所以如果在各层中的任意层例如产生液滴的排出不良，则其影响在使产品工作时显著地显现出来。因此，为了抑制这种液滴的排出不良。需要检查排出的液滴。

例如，专利文献1中公开了利用上述的喷墨方式的液滴排出装置，在该液滴排出装置中，设置有受到来自液体排出头的检查排除的检查片、和对被检查排出到该检查片的液滴的击中点进行图像识别的识别摄像机。在该液滴排出装置中，基于识别摄像机的图像识别，来检查液体排出头的各排出喷嘴是否正常排出液滴。

另外，例如在专利文献2中提出了如下方案：从液滴排出头的各排出喷嘴排出液滴，使其击中被检测纸，利用拍摄装置拍摄击中被检测纸的液滴，基于所拍摄的图像数据检查液滴从喷嘴掉落或飞溅等排出喷嘴的排出不良。

另外，例如在专利文献3中，提出了如下方案：当如上所述拍摄液滴的击中点时，利用包括切换式环照明器(能够三色切换照明光)的排出检查摄像机。具体而言，排出检查摄像机根据液滴的种类(色调)，利用切换式环照明器在切换到适当的颜色的照明光下拍摄击中点。

另外，例如在专利文献4中也公开了像这样拍摄液滴的击中点时，根据液滴的色调变更照明光的色调的方案。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-233833号公报

专利文献2：日本特开2009-95725号公报

专利文献3：日本特开2010-82490号公报

专利文献4：日本特开2010-214318号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

然而，形成有机EL层时使用的有机材料通常为无色透明的或无色半透明的，所以难以赋予与排出该液滴的被排出体的对比度。特别是，当被排出体也是无色透明或无色半透明时，赋予对比度变更难。另外，在有机材料的排出量为少量时，难以赋予液滴和被排出体的对比度。