[发明专利]微纳米三坐标测量机接触式扫描探头

权利要求书

1.一种微纳米三坐标测量机接触式扫描探头，其特征是：

由圆筒体(1)和承接在圆筒体(1)的底部的呈圆台体的底座(6)构成探头壳体，在所述探头 壳体中设置测头单元和测量单元；

所述测头单元是在底座(6)的底座内腔(6b)中设置呈“十”字的悬浮片(5a)，在所述悬浮片 (5a)的顶面、处相邻悬臂之间的夹角处分别连接有悬臂簧片(5b)，所述悬臂簧片(5b)的另一端 连接在底座(6)的顶部圆环形端面上，形成悬浮片(5a)在底座(6)的内腔中的悬浮结构；在所述 悬浮片(5a)的中心通孔中固定安装带有红宝石测球(5e)的探针(5d)，所述探针(5d)自底座(6)的 底部端口中探出，并且能够不受底座(6)的底部端口的干扰而摆动；

所述测量单元是设置在所述悬浮片(5a)的各悬臂上的电容传感器；令：所述悬浮片(5a) 中呈“十”字的各悬臂在沿顺时针方向依次为第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂， 则：处在所述第一悬臂和第二悬臂上的电容传感器是在悬臂远端的上表面；处在第三悬臂和 第四悬臂上的电容传感器是在悬臂远端的下表面。

2.根据权利要求1所述的微纳米三坐标测量机接触式扫描探头，其特征是：在所述圆 筒体(1)的内腔中以隔板相间形成上腔(1a)和下腔(1c)，用于传输所述电容传感器(5c)的输出信 号的电路板(3)置于上腔(1a)中，并利用立柱(4)固定设置在隔板上；在所述隔板的中央设置有 穿线通孔(1b)，连接在电路板(3)和电容传感器(5c)之间的连接线在所述穿线通孔(1b)中贯穿； 所述下腔(1c)与所述底座内腔(6b)相连通。

3.根据权利要求1所述的微纳米三坐标测量机接触式扫描探头，其特征是：针对设置 在第一悬臂、第二悬臂、第三悬臂和第四悬臂上的各电容传感器(5c)的输出信号设置差动电 容式传感器。

4.根据权利要求1所述的微纳米三坐标测量机接触式扫描探头，其特征是：在所述底 座(6)的外侧壁上，对应于各悬臂簧片(5b)的连接位置设置平面铣槽(6c)，并在所述平面铣槽(6c) 中设置通孔，利用通孔和螺钉在底座(6)、悬臂簧片(5b)以及圆筒体(1)之间进行固定连接。