[发明专利]一种加热匀胶的旋涂装置

说明书

本发明涉及一种加热匀胶的旋涂装置，所述装置包含有竖向设置的转轴（5），所述转轴（5）顶部套装有一水平设置的载物盘（1），所述转轴（5）上套装有隔热盘（4）和导电滑环（6），所述隔热盘（4）上安装有加热盘（3），所述加热盘（3）通过导电滑环（6）与电源相连接，上述隔热盘（4）位于加热盘（3）和导电滑环（6）之间，且加热盘（3）位于载物盘（1）的下方。本发明涉及一种加热匀胶的旋涂装置，能够在旋转过程中对胶液进行加热并对温度进行精确控制。

技术领域

本发明涉及一种匀胶旋涂设备，尤其是涉及一种在匀胶过程中对载物盘上的胶进行加热的匀胶旋涂设备（也即匀胶机），其用于在以硅片等材料为底材的基片上进行旋涂镀膜，属于半导体集成电路加工设备技术领域。

背景技术

匀胶机是半导体芯片制造工艺中非常重要的设备，匀胶机有许多常用名称，如：涂胶机、甩胶机、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂布机等，其可应用于溶胶凝胶试验中的薄膜制作，工作原理为高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上。

目前，普通的匀胶机可以满足大多数胶液的旋涂作业，但有些特殊的胶液需要在一定的温度范围内才能实现良好的成膜效果，并且有使用者需要在匀胶的过程中实现烤胶作业；所以需要一种能在加热的状态下进行匀胶的设备；如今市面上有内嵌式加热（如中国专利ZL201420683426.7公开的“一种匀胶机”——其包括主体机、载片台及用于容置载片台的限位框，所述载片台设于主体机的中间位置处，并与主体机内的驱动电机连接，用于驱动载片台进行旋转；该匀胶机进一步包括加热机构，其主要由感应线圈组成，其中所述感应线圈固定在载片台上，并与主体机电性连接，用于对置于载片台上的载片进行加热）、以及盖子加热（如中国专利ZL201420651955.9公开的“硅片匀胶烘干操作台”——其包括操作台本体、匀胶机和烘干装置，在所述操作台本体桌面上设置有通孔，所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中；所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板，所述开关设置在操作台本体的桌面一侧，所述加热丝位于烘干板下方，所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋）两种样式的设备；但是在实际使用中发现这两种设备的温度不能做到精确地控制，并且两种加热的方式容易产生“皮肤效应”，影响作业效果。

发明内容

本发明的目的在于克服上述不足，提供一种能够在旋转过程中对胶液进行加热并对温度进行精确控制的加热匀胶的旋涂装置

本发明的目的是这样实现的：

一种加热匀胶的旋涂装置，所述装置包含有竖向设置的转轴，所述转轴顶部套装有一水平设置的载物盘，所述转轴上套装有隔热盘和导电滑环，所述隔热盘上安装有加热盘，所述加热盘通过导电滑环与电源相连接，上述隔热盘位于加热盘和导电滑环之间，且加热盘位于载物盘的下方。

本发明一种加热匀胶的旋涂装置，所述隔热盘上设置有一沉孔，上述加热盘套装于转轴上并位于该沉孔内。

本发明一种加热匀胶的旋涂装置，所述载物盘和加热盘之间设置有一盖板。

本发明一种加热匀胶的旋涂装置，所述载物盘内部为中空腔体，且载物盘的顶面上设置有多个与中空腔体相连通的吸附孔，所述转轴中心沿其轴向设置有一抽气通道，该抽气通道的顶端与中空腔体相连通。

本发明一种加热匀胶的旋涂装置，所述载物盘的底面上设置有多个温度传感器。

本发明一种加热匀胶的旋涂装置，所述温度传感器通过导电滑环与外接温控装置相连接。

本发明一种加热匀胶的旋涂装置，所述转轴底部通过同步轮与电机轴传动相连。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明在旋转匀胶的同时能够通过加热盘对载物盘进行加热，不仅能实现常规胶液的匀胶成膜作业，而且可以满足有特殊温度要求的胶液的使用需求，以此得到理想的成膜效果；同时通过精确的温度控制，本发明专利边旋转边加热的功能可在匀胶的过程中同时实现烤胶作业。