[发明专利]一种加热匀胶的旋涂装置有效
| 申请号： | 201610120011.2 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN105689209B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 汪竹;陈建锋;曹喜喜;万发能 | 申请（专利权）人： | 江苏雷博科学仪器有限公司 |
| 主分类号： | B05C13/02 | 分类号： | B05C13/02;B05C9/14 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 陈强 |
| 地址： | 214434 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 加热 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种加热匀胶的旋涂装置，其特征在于：所述装置包含有竖向设置的转轴（5），所述转轴（5）顶部套装有一水平设置的载物盘（1），所述转轴（5）上套装有隔热盘（4）和导电滑环（6），所述隔热盘（4）上设置有一沉孔，加热盘（3）套装于转轴（5）上并位于该沉孔内，该加热盘（3）位于载物盘（1）的下方，且载物盘（1）和加热盘（3）之间设置有一盖板（2），上述隔热盘（4）位于加热盘（3）和导电滑环（6）之间，所述加热盘（3）通过导电滑环（6）与电源相连接，所述载物盘（1）的底面上设置有多个温度传感器；所述温度传感器通过导电滑环（6）与外接温控装置相连接；所述载物盘（1）内部为中空腔体，且载物盘（1）的顶面上设置有多个与中空腔体相连通的吸附孔，所述转轴（5）中心沿其轴向设置有一抽气通道，该抽气通道的顶端与中空腔体相连通。
2.如权利要求1所述一种加热匀胶的旋涂装置，其特征在于：所述转轴（5）底部通过同步轮与电机轴传动相连。
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