[发明专利]一种基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法

权利要求书

1.一种基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法，其特征在于：实现该方法的装置包括基座、安装在基座上的砂轮和对称电场产生机构，所述基座上设有用于放置待加工铁电材料的加工工位，所述加工工位位于所述对称电场产生机构的对称电场内；

所述加工方法包括以下过程：启动对称电场产生机构，产生对称电场，将待加工铁电材料放入加工工位，再启动砂轮进行表面加工。

2.如权利要求1所述的基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法，其特征在于：所述对称电场产生机构包括正极电极板和负极电极板，所述正极电极板和负极电极板相对布置，所述正极电极板位于所述待加工铁电材料的下方，所述负极电极板位于所述砂轮的上方。

3.如权利要求1或2所述的基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法，其特征在于：所述砂轮的工作面粘附砂轮块。

4.如权利要求1或2所述的基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法，其特征在于：所述加工工位包括基片和真空吸盘，所述待加工铁电材料位于所述基片上，所述基片位于真空吸盘上。

5.如权利要求4所述的基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法，其特征在于：所述待加工铁电材料粘附在所述基片上。

6.如权利要求4所述的基于外加对称电场的铁电材料表面加工方法，其特征在于：所述真空吸盘为多孔陶瓷吸盘。