[发明专利]一种磁控溅射装置

说明书

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种磁控溅射装置。

背景技术

目前，在镀膜领域，真空磁控溅射技术应用非常广泛。现有的一种磁控溅射装置，其中设有用于使载板悬浮运动的磁悬浮轨道，载板为承载待加工物体的金属板，一般为铝板，载板的边缘位置设有用于与上述磁悬浮轨道之间产生悬浮磁力的磁轨，该磁轨与腔体相连，且该磁轨通过绝缘垫块安装于载板上。

图1为现有技术中的一种用于将磁轨安装于载板上的绝缘垫块的结构示意图；如图1所示，绝缘垫块30先通过内部螺丝40实现与载板10相连，然后再通过螺丝50实现与磁轨20相连，进而实现磁轨20与载板10之间的安装；如图1所示，螺丝50的安装操作可以在载板上的开口60处完成。

磁控溅射装置在对载板上的物体进行镀膜的过程中，位于载板边缘的绝缘垫块表面一般也会附着上金属膜；如图1所示，上述绝缘垫块30中，当绝缘垫块30表面处于载板10的开口60内的区域上形成一定厚度的金属膜时，螺丝50与载板10之间就可能通过上述金属膜所导通，进而导致磁轨和腔体与载板之间导通，从而导致产生异常放电，异常放电的产生将大大影响镀膜的品质。

发明内容

本发明提供了一种磁控溅射装置，用以解决现有技术中的磁控溅射装置在工作过程中易产生异常放电的问题。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种磁控溅射装置，包括磁悬浮轨道和可沿所述磁悬浮轨道的延伸方向悬浮移动地安装于所述磁悬浮轨道的载板，所述载板设有用于与所述磁悬浮轨道之间产生悬浮磁力的磁轨，所述磁轨通过多个垫块安装于所述载板上；其中，

每一个所述垫块包括位于所述磁轨与所述载板之间的第一绝缘板块和第二绝缘板块，所述第二绝缘板块位于所述第一绝缘板块与所述载板之间；且，所述第一绝缘板块与所述磁轨之间通过第一固定件固定连接，所述第二绝缘板块与所述载板之间通过第二固定件固定连接，所述第二固定件与所述第一固定件不接触；所述第一绝缘板块与所述第二绝缘板块之间通过第三固定件固定连接，所述第三固定件与所述磁轨和载板都不接触、且所述第三固定件与所述第一固定件和/或所述第二固定件不接触。

上述磁控溅射装置中，每一个垫块包括固定连接的第一绝缘板块和第二绝缘板块两部分，且每一个垫块的第一绝缘板块与磁轨相连、第二绝缘板块与载板相连，进而实现了磁轨与载板之间的连接安装；并且，该磁控溅射装置中，连接磁轨和第一绝缘板块的第一固定件与载板之间隔着第二绝缘板块，连接载板和第二绝缘板块的第二固定件与磁轨之间隔着第一绝缘板块，因此，即使在垫块表面形成了金属膜，该金属膜也无法通过第一固定件或者通过第二固定件使磁轨与载板之间电导通；且由于第一固定件和第二固定件之间不接触，因此，垫块表面的金属膜也无法通过第一固定件和第二固定件共同实现将磁轨与载板电导通；另外，由于连接第一绝缘板块和第二绝缘板块的第三固定件与磁轨和载板都不接触、且也不与第一固定件和/或第二固定件接触，因此，形成于垫块表面的金属膜也很难通过第三固定件或者同时通过三个固定件使磁轨与载板之间电导通。综上所述，上述磁控溅射装置，其垫块中的固定件(第一固定件、第二固定件和第三固定件)不容易导致磁轨与载板之间电导通，因此，上述磁控溅射装置在工作过程中不易产生异常放电的现象。

优选地，所述第一绝缘板块设有至少一个第一通孔；所述磁轨设有与所述第一通孔一一对应的至少一个第一螺纹孔；所述第一固定件包括至少一个穿过所述第一通孔且与所述第一通孔对应的第一螺纹孔螺纹配合的第一螺钉。

优选地，所述第二绝缘板块设有至少一个第二通孔；所述载板设有与所述第二通孔一一对应的至少一个第二螺纹孔；所述第二固定件包括至少一个穿过所述第二通孔且与所述第二通孔对应的第二螺纹孔螺纹配合的第二螺钉。

优选地，所述第一绝缘板块的第一通孔和所述第二绝缘板块的第二通孔之间不连通。

优选地，所述第二绝缘板块设有至少一个第三通孔；所述第一绝缘板块设有与所述第三通孔一一对应的至少一个第三螺纹孔，每一个所述第三螺纹孔为非通孔；所述第三固定件包括至少一个穿过所述第三通孔且与所述第三螺纹孔螺纹配合的第三螺钉。

优选地，所述第二绝缘板块的第三通孔和所述第一绝缘板块的第一通孔之间不连通。

优选地，所述第三固定件包括两个所述第三螺钉。

优选地，所述载板上设有用于操作安装所述第三固定件的安装操作开口，所述第二绝缘板块上的每一个所述第三通孔位于所述安装操作开口的范围内。