[发明专利]一种磁控溅射装置

权利要求书

1.一种磁控溅射装置，包括磁悬浮轨道和可沿所述磁悬浮轨道的延伸方向悬浮移动地安装于所述磁悬浮轨道的载板，所述载板设有用于与所述磁悬浮轨道之间产生悬浮磁力的磁轨，所述磁轨通过多个垫块安装于所述载板上；其特征在于，其中，

每一个所述垫块包括位于所述磁轨与所述载板之间的第一绝缘板块和第二绝缘板块，所述第二绝缘板块位于所述第一绝缘板块与所述载板之间；且，所述第一绝缘板块与所述磁轨之间通过第一固定件固定连接，所述第二绝缘板块与所述载板之间通过第二固定件固定连接，所述第二固定件与所述第一固定件不接触；所述第一绝缘板块与所述第二绝缘板块之间通过第三固定件固定连接，所述第三固定件与所述磁轨和载板都不接触、且所述第三固定件与所述第一固定件和/或所述第二固定件不接触。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述第一绝缘板块设有至少一个第一通孔；所述磁轨设有与所述第一通孔一一对应的至少一个第一螺纹孔；所述第一固定件包括至少一个穿过所述第一通孔且与所述第一通孔对应的第一螺纹孔螺纹配合的第一螺钉。

3.根据权利要求2所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述第二绝缘板块设有至少一个第二通孔；所述载板设有与所述第二通孔一一对应的至少一个第二螺纹孔；所述第二固定件包括至少一个穿过所述第二通孔且与所述第二通孔对应的第二螺纹孔螺纹配合的第二螺钉。

4.根据权利要求3所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述第一绝缘板块的第一通孔和所述第二绝缘板块的第二通孔之间不连通。

5.根据权利要求1～4任一项所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述第二绝缘板块设有至少一个第三通孔；所述第一绝缘板块设有与所述第三通孔一一对应的至少一个第三螺纹孔，每一个所述第三螺纹孔为非通孔；所述第三固定件包括至少一个穿过所述第三通孔且与所述第三螺纹孔螺纹配合的第三螺钉。

6.根据权利要求5所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述第二绝缘板块的第三通孔和所述第一绝缘板块的第一通孔之间不连通。

7.根据权利要求5所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述第三固定件包括两个所述第三螺钉。

8.根据权利要求5所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述载板上设有用于操作安装所述第三固定件的安装操作开口，所述第二绝缘板块上的每一个所述第三通孔位于所述安装操作开口的范围内。

9.根据权利要求8所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述第二绝缘板块与所述载板相对的一侧表面设有绝缘槽，所述绝缘槽位于所述安装操作开口的范围内。

10.根据权利要求9所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述绝缘槽为包围每一个所述第三通孔的环形槽。

11.根据权利要求1～4任一项所述的磁控溅射装置，其特征在于，所述第一绝缘板块与所述第二绝缘板块的材料为树脂。