[发明专利]阵列基板及阵列基板的制备方法有效

专利信息
申请号: 201610069410.0 申请日: 2016-02-01
公开(公告)号: CN105487285B 公开(公告)日: 2018-09-14
发明(设计)人: 徐向阳 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G02F1/1335 分类号: G02F1/1335;G02F1/1343
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 阵列基板 公共电极 漏极 第一表面 像素电极 沟道层 数据线 栅极线 基板 源极 绝缘层 薄膜晶体管 公共电极线 间隔排布 像素区域 电连接 制备 透明导电层 绝缘设置 同侧 平行
【说明书】:

发明提供一种阵列基板及阵列基板的制备方法。阵列基板包括基板及设置在基板同侧的多个栅极线、多个数据线及多个公共电极线,基板包括第一表面,栅极线间隔排布在第一表面上且与间隔排布数据线通过第一绝缘层绝缘设置,相邻的两条栅极线及相邻的两条数据线之间为像素区域,阵列基板还包括设置在像素区域内的薄膜晶体管、公共电极及像素电极,薄膜晶体管包括栅极、沟道层、源极及漏极,栅极及公共电极设置在第一表面上,公共电极与栅极平行、与公共电极线电连接且为透明导电层,沟道层、源极、漏极及像素电极设置在第一绝缘层上,且源极与漏极设置在沟道层相对的两端,像素电极与公共电极对应且与漏极电连接。

技术领域

本发明涉及显示领域,尤其涉及一种阵列基板及阵列基板的制备方法。

背景技术

显示设备,比如液晶显示器(Liquid Crystal Display,LCD)是一种常用的电子设备,由于其具有功耗低、体积小、重量轻等特点,因此备受用户的青睐。半透半反式液晶显示装置(Trans-flective Liquid Crystal Display)同时具有透射式和反射式特性,半透半反式液晶面板在一个像素域内包括有透明电极的透射区和有反射层的反射区。在黑暗的地方可以利用像素区域的透射区和背光源来显示画像,在明亮的地方利用像素区域的反射区和外光来显示画像。因此,半透半反式液晶显示装置可以适应不同的亮暗环境而得到广泛应用。现有技术中,所述半透半反式液晶显示装置中反射外来光线的能力较弱,从而导致半透半反式液晶显示装置在反射外来光线时显示画面时的显示质量较差。

发明内容

本发明提供一种阵列基板,所述阵列基板包括基板及设置在所述基板同侧的多个栅极线、多个数据线及多个公共电极线,所述基板包括第一表面,所述多个栅极线设置在所述第一表面上,且所述多个栅极线向第一方向延伸且沿第二方向间隔排布,所述多个数据线与所述多个栅极线通过第一绝缘层绝缘设置,且所述多个数据线向所述第二方向延伸且沿所述第一方向间隔排布,所述多个公共电极线与所述多个栅极线平行,一个公共电极线设置于相邻的两个栅极线之间,所述公共电极线与所述数据线通过所述第一绝缘层绝缘设置,所述公共电极线邻近所述第一表面设置,且所述公共电极线为金属层,相邻的两条栅极线及相邻的两条数据线之间限定一个像素区域,所述阵列基板还包括设置在所述像素区域内的薄膜晶体管、公共电极及像素电极,所述薄膜晶体管包括栅极、所述第一绝缘层、沟道层、源极及漏极,所述栅极设置在所述第一表面上,所述公共电极与所述公共电极线电连接,且所述公共电极设置在所述第一表面上,所述公共电极为透明导电层,所述公共电极线设置在公共电极上且与所述公共电极电连接,所述沟道层、所述源极及所述漏极设置在所述第一绝缘层上且所述源极与所述漏极设置在所述沟道层相对的两端,所述像素电极设置在所述第一绝缘层上且与所述公共电极对应,且所述像素电极与所述漏极电连接,一第二绝缘层覆盖所述沟道层、所述源极、所述漏极、所述像素电极及所述数据线。

其中所述像素电极为金属层,用于反射入射至所述像素电极的光线。

其中,所述薄膜晶体管还包括第一欧姆接触层,所述第一欧姆接触层设置在所述沟道层与所述源极之间,用于减小所述沟道层与所述源极之间的接触电阻。

其中,所述薄膜晶体管还包括第二欧姆接触层,所述第二欧姆接触层设置在所述沟道层与所述漏极之间,用于减小所述沟道层与所述漏极之间的接触电阻。

其中,所述第一绝缘层包括对应所述栅极线开设的第一贯孔,所述第二绝缘层包括对应所述第一贯孔开设的第二贯孔及对应所述数据线开设的第三贯孔,所述阵列基板还包括栅极端子及数据端子,所述栅极端子通过所述第一贯孔及所述第二贯孔电连接所述栅极线,所述数据端子通过所述第三贯孔电连接所述数据线,其中,所述栅极端子及所述数据端子为导电的。

本发明还提供了一种阵列基板的制备方法,所述阵列基板的制备方法包括:

提供基板;

在所述基板的第一表面沉积整层的第一透明导电层;

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