[发明专利]采用热管散热系统散热的小体积大功率半导体激光器有效
申请号: | 201610064811.7 | 申请日: | 2016-01-29 |
公开(公告)号: | CN105552711B | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 舒世立;佟存柱;吴昊;汪丽杰;田思聪;王立军 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | H01S5/024 | 分类号: | H01S5/024 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人: | 朱红玲 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 采用 热管 散热 系统 体积 大功率 半导体激光器 | ||
1.采用热管散热系统散热的小体积大功率半导体激光器,包括多个激光器子模块(1)、多个铜板卡具(2)、多个热电制冷片(3)、一套U型热管散热系统(4)和激光整形与合束装置;所述铜板卡具(2)的厚度依次递增,且相邻铜板卡具(2)的厚度相差2mm;
所述多个激光器子模块(1)串联后依次固定在对应的铜板卡具(2)上,所述铜板卡具(2)压在热电制冷片(3)上,通过螺栓固定在所述U型热管散热系统(4)的热管基板(4-2)上,
所述激光器子模块(1)与铜板卡具(2)之间设置有AlN陶瓷片,激光器子模块(1)与所述AlN陶瓷片之间以及AlN陶瓷片与铜板卡具(2)之间设置有铟箔;
所述铜板卡具(2)与热电制冷片(3)冷面以及热管基板(4-2)与热电制冷片(3)热面之间由高绝缘导热胶填充;
所述激光器子模块(1)出射激光后经激光整形与合束装置合成一束光输出;
所述的激光整形与合束装置包括一个聚焦镜及与各激光器子模块(1)对应的快轴准直镜、慢轴准直镜和反射镜;激光器子模块(1)出射激光经快轴准直镜、慢轴准直镜和反射镜后合成一束光输出;
铜板卡具(2)的材质为紫铜,且厚度依次分别为2mm,4mm,6mm,8mm和10mm。
2.根据权利要求1所述的采用热管散热系统散热的小体积大功率半导体激光器,其特征在于,U型热管散热系统(4)还包括热管(4-1)、fin片(4-3)和风扇(4-4),所述热管(4-1)贯穿热管基板(4-2)并固定在U型热管散热系统(4)的两侧,所述U型热管散热系统(4)的两侧为两组fin片(4-3),两组fin片的一端各设置一个风扇(4-4)。
3.根据权利要求2所述的采用热管散热系统散热的小体积大功率半导体激光器,其特征在于,所述热管(4-1)和热管基板(4-2)的材料为紫铜,fin片的材料为铝。
4.根据权利要求2所述的采用热管散热系统散热的小体积大功率半导体激光器,其特征在于,U型热管散热系统(4)中的热管(4-1)为U型结构。
5.根据权利要求1所述的采用热管散热系统散热的小体积大功率半导体激光器,其特征在于,所述AlN陶瓷片厚度为0.38mm,铟箔厚度为0.1mm。
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