[发明专利]柔性薄膜贴合与剥离方法、柔性基板制备方法、衬底基板

权利要求书

1.一种柔性薄膜的剥离方法，其特征在于，所述柔性薄膜位于衬底基板的上方；所述衬底基板具有四周区域和位于所述四周区域内的中间区域，所述中间区域内设置有多个贯通孔；所述衬底基板的上表面上设置有位于所述四周区域内的密封胶层、位于所述中间区域内的中间胶层；所述密封胶层固化后具有脆性；所述柔性薄膜贴合在所述密封胶层和所述中间胶层上；

所述剥离方法包括：

对固化后的所述密封胶层进行形变处理，以使所述密封胶层与所述柔性薄膜相接触的表面发生断裂；

使反应液通过所述贯通孔与所述中间胶层反应，以使所述中间胶层与所述柔性薄膜分离；

将所述柔性薄膜与位于所述衬底基板上表面上的胶层相剥离。

2.根据权利要求1所述的柔性薄膜的剥离方法，其特征在于，所述衬底基板远离所述柔性薄膜的下表面上贴覆有至少覆盖所述贯通孔的衬底保护膜，所述衬底保护膜用于使在进行所述剥离方法之前对所述柔性薄膜进行处理的工艺中采用的处理液不会通过所述贯通孔与所述中间胶层相接触；

在所述使反应液通过所述贯通孔与所述中间胶层反应，以使所述中间胶层与所述柔性薄膜分离的步骤之前，所述剥离方法还包括：

去除所述衬底保护膜，以暴露出所述贯通孔。

3.根据权利要求1所述的柔性薄膜的剥离方法，其特征在于，所述贯通孔内填充有形变材料，以使在进行所述剥离方法之前对所述柔性薄膜进行处理的工艺中采用的处理液不会通过所述贯通孔与所述中间胶层相接触；

在所述使反应液通过所述贯通孔与所述中间胶层反应，以使所述中间胶层与所述柔性薄膜分离的步骤之前，所述剥离方法还包括：

对所述贯通孔内填充的所述形变材料进行加热或降温处理，以使所述形变材料的形状发生变化以通过所述贯通孔暴露出所述中间胶层。

4.根据权利要求1所述的柔性薄膜的剥离方法，其特征在于，所述贯通孔的内壁设置有浸润膜层；其中，在进行所述剥离方法之前对所述柔性薄膜进行处理的工艺中采用的处理液在所述浸润膜层表面的接触角大于90°，所述反应液在所述浸润膜层表面的接触角小于或等于90°。

5.根据权利要求1所述的柔性薄膜的剥离方法，其特征在于，

所述中间胶层与所述反应液反应后发生溶解；

或者，

所述中间胶层与所述反应液反应后粘性消失。

6.根据权利要求5所述的柔性薄膜的剥离方法，其特征在于，

在所述中间胶层与所述反应液反应后发生溶解的情况下，所述将所述柔性薄膜与位于所述衬底基板上表面上的胶层相剥离的步骤，具体包括：

将所述柔性薄膜与位于所述衬底基板上表面上的密封胶层相剥离；

或者，

在所述中间胶层与所述反应液反应后粘性消失的情况下，所述将所述柔性薄膜与位于所述上表面上的胶层相剥离的步骤，具体包括：

将所述柔性薄膜与位于所述衬底基板上表面上的密封胶层和所述中间胶层相剥离。

7.根据权利要求1所述的柔性薄膜的剥离方法，其特征在于，所述使反应液通过所述贯通孔与所述中间胶层反应，以使所述中间胶层与所述柔性薄膜分离的步骤，具体包括：

将所述衬底基板远离所述柔性薄膜的下表面浸入盛有反应液的容器中，使反应液通过所述贯通孔与所述中间胶层反应，以使所述中间胶层与所述柔性薄膜分离；

或者，

通过浸有反应液的吸水体在所述衬底基板远离所述柔性薄膜的下表面反复擦拭，使所述反应液通过所述贯通孔与所述中间胶层反应，以使所述中间胶层与所述柔性薄膜分离。

8.根据权利要求1所述的柔性薄膜的剥离方法，其特征在于，所述柔性薄膜由柔性薄膜主体和柔性保护膜构成；其中，所述柔性保护膜与所述密封胶层和所述中间胶层均直接接触；

在所述将所述柔性薄膜与位于所述衬底基板上表面上的胶层相剥离的步骤之后，所述剥离方法还包括：

去掉所述柔性薄膜中的柔性保护膜，并贴覆新的柔性保护膜。