[发明专利]微流体通道过滤器

说明书

在示例实现方式中，一种制造微流体通道过滤器的方法，包括在微流体通道中沉积可压印材料，将具有过滤器图案的压印戳按压到可压印材料中，固化可压印材料，以及从可压印材料移除压印戳。

技术领域

本发明涉及微流体通道过滤器及其制造方法。

背景技术

芯片实验室（LOC）器件使得能够将实验室功能缩小到最小化的环境。LOC器件可以在单个芯片上集成若干实验室功能，所述单个芯片处理非常小体积的流体。因此，LOC器件的实现牵涉将各种组件集成到非常小的形状因子(form factor)中。

发明内容

本发明提供了一种制造微流体通道过滤器的方法，包括：在微流体通道中沉积可压印材料；将具有拓扑过滤器图案的压印戳按压到可压印材料中；固化可压印材料；以及从可压印材料移除压印戳，留下形成在可压印材料中的拓扑过滤器图案；其中可压印材料包括可光学固化的液体抗蚀剂，并且其中沉积可压印材料包括：将可光学固化的液体抗蚀剂喷射到微流体通道的局部化区域中；并且其中固化可压印材料包括向液体抗蚀剂施加紫外光，直到液体抗蚀剂被固化。芯片实验室（LOC）器件使得能够将实验室功能缩小到最小化的环境。LOC器件可以在单个芯片上集成若干实验室功能，所述单个芯片处理非常小体积的流体。因此，LOC器件的实现牵涉将各种组件集成到非常小的形状因子(form factor)中。

本发明还提供了一种微流体通道过滤器，包括：衬底；形成在衬底中的微流体通道；以及沉积在微流体通道中并且被压印有过滤器图案的可压印聚合物材料；其中可压印聚合物材料包括从流体喷射设备可喷射到微流体通道中的可光学固化的液体抗蚀剂；其中衬底包括透明衬底以使得能够实现可压印聚合物材料的紫外光固化。

附图说明

现在将参考附图来描述示例，其中：

图1示出示例衬底的侧视图，所述示例衬底具有沉积在形成于衬底中的示例微流体通道中的示例可压印材料；图2示出在可压印材料的固化期间，具有示例微流体通道和压印戳的示例衬底的侧视图；

图3示出在可压印材料的固化之后，具有微流体通道的示例衬底的侧视图；

图4示出在形成示例微流体通道过滤器并且在微流体通道和过滤器之上放置芯片顶部之后，微流体芯片的示例的侧视图；

图5示出具有形成在其中的示例微流体通道的示例衬底的顶视图；

图6示出并行化图1-4中图示的压印过程的示例方法的流程图；

图7示出可替换的示例方法的流程图，该方法图示了图1-4中图示的压印过程的附加细节；

图8示出并行化图1-4中图示的压印过程的可替换示例方法的流程图。

贯穿各图，相同的参考标号指代类似但未必相同的元件。

具体实施方式

芯片实验室（LOC）器件使用在不同的生命科学工业中，以用于诸如生物医学诊断、药物开发、DNA复制等之类的各种目的。在LOC器件上执行的实验室功能通常依赖于不同的上游流体样本制备。制备样本可以牵涉流体的混合、流体的过滤、流体的加热、其组合等。微流体牵涉通过向非常小的形状因子中集成和实现各种组件而在最小化的LOC环境内操纵和控制这样的流体。