[发明专利]微流体通道过滤器

权利要求书

1.一种制造微流体通道过滤器的方法，包括：

在微流体通道中沉积可压印材料；

将具有拓扑过滤器图案的压印戳按压到可压印材料中；

固化可压印材料；以及

从可压印材料移除压印戳，留下形成在可压印材料中的拓扑过滤器图案；

其中可压印材料包括可光学固化的液体抗蚀剂，并且其中沉积可压印材料包括：

将可光学固化的液体抗蚀剂喷射到微流体通道的局部化区域中；

并且其中固化可压印材料包括向液体抗蚀剂施加紫外光，直到液体抗蚀剂被固化。

2.如权利要求1中所述的方法，其中固化包括将可压印材料暴露于热量。

3.如权利要求1中所述的方法，其中固化包括将可压印材料暴露于紫外光。

4.如权利要求1中所述的方法，其中将压印戳按压到可压印材料中包括将压印戳对准到其上形成微流体通道的衬底。

5.如权利要求1中所述的方法，其中沉积可压印材料包括将可压印材料从流体喷射喷嘴喷射到微流体通道中。

6.如权利要求1中所述的方法，其中压印戳包括与微流体通道的形状成镜像的拓扑通道图案，并且其中沉积可压印材料包括在微流体通道的完整长度内沉积可压印材料。

7.如权利要求1中所述的方法，其中沉积可压印材料包括：

在微流体通道中的特定位置处选择性地沉积可压印材料。

8.如权利要求7中所述的方法，包括将可压印材料喷射到微流体通道中。

9.如权利要求7中所述的方法，其中控制可压印材料的通道长度尺寸包括：

光学固化已经沉积在通道长度尺寸内的可压印材料；以及

洗掉已经沉积在通道长度尺寸外部的未经固化的可压印材料。

10.一种微流体通道过滤器，包括：

衬底；

形成在衬底中的微流体通道；以及

沉积在微流体通道中并且被压印有过滤器图案的可压印聚合物材料；

其中可压印聚合物材料包括从流体喷射设备可喷射到微流体通道中的可光学固化的液体抗蚀剂；

其中衬底包括透明衬底以使得能够实现可压印聚合物材料的紫外光固化。

11.如权利要求10中所述的过滤器，其中可压印聚合物材料在精确的通道长度尺寸内被局部化。

12.如权利要求10中所述的过滤器，其中过滤器图案包括指部图案，所述指部图案具有从包括相同大小的指部和不同大小的指部的组选择的指部。