[发明专利]荧光X射线分析装置及其中使用的光谱显示方法

说明书

为了不变更装置结构而以软件方式识别荧光X射线与衍射X射线、并在光谱中的波峰处显示荧光X射线信息与衍射X射线信息，本发明的荧光X射线分析装置具备将X射线射出到试样的X射线管(10)以及检测来自试样的X射线的检测器(30)，该荧光X射线分析装置根据由检测器(30)检测到的X射线，制作并显示表示X射线能量与元素的含量的关系的光谱，其中，荧光X射线分析装置具备：识别信息制作部(61c)，其制作对基于衍射X射线的波峰位置进行确定的识别信息，该衍射X射线根据试样的晶体结构而产生；以及显示控制部(61d)，其根据识别信息，在光谱中的波峰处显示衍射X射线信息。

技术领域

本发明涉及一种取得试样中包含的元素的信息的荧光X射线分析装置及在该荧光X射线分析装置中使用的光谱显示方法。

背景技术

荧光X射线分析装置将初级X射线照射到固体试样、粉状试样、液体试样，检测通过初级X射线激励而放出的荧光X射线的强度，从而进行该试样中包含的元素的定性、定量分析。

图4是示出以往的一般的能量分散型荧光X射线分析装置的结构的概略结构图。能量分散型荧光X射线分析装置101具备在内部配置有试样S的分析腔室20、在内部配置有X射线管10和检测器30的装置框体50、脉冲处理器41、数据存储器42以及控制X射线管10和检测器30的计算机160。

分析腔室20具有四边形板状的试样底座21以及具有四边形板状的上表面的四方管形状的上部腔室22。在试样底座21的中央部，形成有圆形形状的开口21a。以使上部腔室22的一个侧壁的下表面与试样底座21的上表面侧的一边成为轴的方式，相对于试样底座21可旋转地安装上部腔室22。并且，上部腔室22的内部与真空泵(未图示)连接，通过真空泵排气成真空。根据这样的分析腔室20，通过打开上部腔室22，能够以试样S的分析面堵塞开口21a的方式配置试样S，在配置试样S之后，关闭上部腔室22，能够将上部腔室21的内部排气成真空。

装置框体50是具有四边形板状的下表面的四方管形状，将试样底座21的下表面侧的边缘部安装于四方管形状的侧壁的上表面。然后，将X射线管10和检测器30配置于装置框体50的内部。

X射线管10例如是点聚焦的X射线球管，具有框体，将作为阳极的靶材(未图示)和作为阴极的灯丝(未图示)配置于框体的内部。由此，通过对靶材施加高电压，并且对灯丝施加低电压，从而使从灯丝放射的热电子碰撞到靶材的端面，从而使在靶材的端面产生的初级X射线射出。图5是示出这样得到的初级X射线的能量分布的图。能量分布是与靶材的材质相应的特征X射线重叠于连续X射线而得到的分布。

并且，X射线管10固定地安装于试样底座21的开口21a的左下方，构成为使从X射线管10射出的初级X射线以入射角θ入射到开口21a中。因此，通过使试样S的分析面以堵塞开口21a的方式抵接，从而由初级X射线以入射角θ照射试样S的分析面。

检测器30例如具有形成有导入窗的框体，在框体的内部配置有检测荧光X射线的检测元件(半导体元件)。并且，检测器30固定地安装于试样底座21的开口21a的右下方，构成为使得在试样S的分析面产生的荧光X射线入射到导入窗。因此，当初级X射线照射到试样S的分析面时，检测器30就对在试样S的分析面产生的荧光X射线进行检测。此时，来自检测器30的输出信号变成阶梯波状，阶梯波状的各1级分别表示对荧光X射线进行检测，另外，各级的高度表示波长λ、即X射线能量E。收到这样的输出信号的脉冲处理器41将其转换成与各级的高度(X射线能量E)成比例的高度的脉冲。然后，当1个脉冲被转换时，数据存储器42就对与脉冲的高度相应的X射线能量位置E加上强度“1”，其结果，制作横轴为荧光X射线能量E、纵轴为元素的含量(强度)的光谱。图6是元素Sn的在测定试样S时制作的光谱的一个例子。