[发明专利]复合传感器

说明书

复合传感器具备：第1传感器(100)，输出与检测对象对应的第1传感器信号；第2传感器(200)，输出与不同的检测对象对应的第2传感器信号；电路基板(300)，与第1、第2传感器电连接；被搭载部件(10)，具有配置第1、第2传感器及电路基板的一面(33a)。第1、第2传感器分别具有用来输入具有规定的振幅及频率的输入信号的输入端子(161、244a)及用来输出第1、第2传感器信号的输出端子(162、163、241a～243a)。当设沿着第1、第2传感器的排列方向的方向、穿过第1、第2传感器的中心的直线为假想线(K)时，输入端子位于相对于假想线被分割的一方的相同区域侧，输出端子位于相对于假想线被分割的另一方的相同区域侧。

相关申请的相互参照

本申请基于2015年1月16日提出的日本专利申请第2015－007030号，在此援引其记载的内容。

技术领域

本发明涉及在共通的被搭载部件上搭载有检测对象不同的第1、第2传感器的复合传感器。

背景技术

以往，作为这种复合传感器，例如在专利文献1中，提案了，在共通的被搭载部件的一面上搭载有输出与加速度对应的传感器信号的加速度传感器和输出与角速度对应的传感器信号的角速度传感器的结构。具体而言，在该复合传感器中，加速度传感器及角速度传感器都经由由导电性部件等构成的连接部件连接在被搭载部件的一面上。并且，使将角速度传感器与被搭载部件的一面连接的连接部件的高度比将加速度传感器与被搭载部件的一面连接的连接部件的高度高。另外，角速度传感器例如为利用压电体的压电效果的压电式，如果在使驱动振动片振动的状态下施加角速度，则输出与角速度对应的传感器信号(电荷)。

由此，由于使将角速度传感器与被搭载部件连接的连接部件的高度比将加速度传感器与被搭载部件连接的连接部件的高度高，所以能够抑制角速度传感器的振动被传递给加速度传感器。因此，能够抑制角速度传感器的振动成为对于加速度传感器的噪声。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：特开2014－13207号公报

发明内容

在上述专利文献1的复合传感器中，虽然能够抑制角速度传感器的振动成为对于加速度传感器的噪声，但是关于加速度传感器及角速度传感器的配置关系没有考虑，存在由于电气性的噪声而检测精度下降的情况。

例如，电容式的加速度传感器具有可动电极、以及与该可动电极对置的固定电极，可动电极及固定电极的一方的电极具有规定的振幅、频率。

即，被施加输入信号(输送波)，基于在另一方的电极中产生的电荷(传感器信号)进行加速度的检测。此外，压电式的角速度传感器具有驱动振动片和检测振动片，在驱动振动片上被施加具有规定的振幅、频率的输入信号(输送波)，基于在检测振动片中产生的电荷(传感器信号)进行角速度的检测。

在此情况下，在加速度传感器的另一方的电极中产生的电荷及在角速度传感器的检测振动片中产生的电荷容易受到来自外部的干扰，向加速度传感器及角速度传感器输入的输入信号容易成为噪声源。因此，如果加速度传感器的将输入信号输入的部分、和角速度传感器的将传感器信号输出的部分被接近地配置，或者如果加速度传感器的将传感器信号输出的部分、和角速度传感器的将输入信号输入的部分被接近地配置，则有通过输入信号而检测精度下降的情况。

本公开鉴于上述问题，目的是提供一种能够抑制由于电气性的噪声而检测精度下降的复合传感器。