[发明专利]干膜抗蚀剂用保护膜和感光性树脂叠层体有效
| 申请号： | 201580069400.0 | 申请日： | 2015-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN107111235B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 栋泰人;森井秀和;舟津良亮;井崎公裕 | 申请（专利权）人： | 三菱化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11;B32B27/36;C08J7/044;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;程采 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 干膜抗蚀剂用 保护膜 感光性 树脂 叠层体 | ||
【权利要求书】：
1.一种干膜抗蚀剂用保护膜，其特征在于：
在聚酯膜的单面具有涂布层，该涂布层由含有含长链烷基的化合物和防静电剂、以及丙烯酸树脂或聚乙烯醇、以及交联剂的涂布液形成，该涂布层表面的最大突起高度Rt为0.3～1.0μm，
以相对于涂布液中的全部不挥发成分的比例计，含长链烷基的化合物为15～70重量％，防静电剂为10～70重量％，丙烯酸树脂或聚乙烯醇为3～60重量％，交联剂为6～70重量％。
2.一种感光性树脂叠层体，其特征在于：
具有在形成于基膜上的感光性树脂层表面叠层有权利要求1所述的保护膜的结构。
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