[发明专利]气体团簇离子束喷嘴组件有效
| 申请号： | 201580049124.1 | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN106688075B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 马修·C·格温;阿夫鲁姆·弗赖特西斯;罗伯特·K·贝克尔 | 申请（专利权）人： | TEL艾派恩有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏金霞;高源 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 离子束 喷嘴 组件 | ||
【权利要求书】：
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