[发明专利]用于有机膜的CMP浆料组合物及使用其的抛光方法有效
| 申请号： | 201580049063.9 | 申请日： | 2015-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN106687553B | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 俞龙植;崔正敏;姜东宪;金泰完;金古恩;金容国 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张英;宫传芝 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 有机 cmp 浆料 组合 使用 抛光 方法 | ||
【说明书】：
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