[发明专利]具有改进的耐刮擦/耐磨性和疏油性质的用于玻璃的涂层

权利要求书

1.用于电子显示屏上的玻璃，其包括：

玻璃基材；

在所述玻璃的前表面上的类金刚石涂层；

中间涂层，其包括直接形成在所述类金刚石涂层上并含有硅的第一层，和直接形成在所述第一层上并含有硅以及氧和氮中的至少一种的第二层；

直接设置在所述第二层上的防指纹涂层。

2.根据权利要求1所述的玻璃，其中所述第一层由硅组成。

3.根据权利要求2所述的玻璃，其中所述第二层由硅和氧组成。

4.根据权利要求2所述的玻璃，其中所述第二层由硅和氮组成。

5.根据权利要求2所述的玻璃，其中所述第二层由硅、氮和氧组成。

6.根据权利要求1所述的玻璃，其中所述第一层由硅和氮组成。

7.根据权利要求6所述的玻璃，其中所述第二层由硅和氧组成。

8.根据权利要求1所述的玻璃，其还包括在所述玻璃的前表面和所述类金刚石涂层之间形成的抗反射涂层。

9.根据权利要求8所述的玻璃，其中所述抗反射涂层包括SiO₂和Nb₂O₅的交替层，终止层为SiO₂，并且其中所述类金刚石涂层直接形成在所述终止层上。

10.根据权利要求8所述的玻璃，其中所述抗反射涂层由低折射率膜和高折射率膜的交替层组成，其中所述抗反射涂层的终止层由低折射率膜组成，所述类金刚石涂层直接形成在所述终止层上，其中配置所述类金刚石涂层，使其折射率高于所述低折射率膜的折射率但低于所述高折射率膜的折射率，并且其中所述类金刚石涂层形成为具有终止膜的厚度的一部分。

11.制备权利要求1-10中任一项所述的用于电子显示屏上的玻璃的方法，其包括：

在所述玻璃的前表面上形成类金刚石涂层；

进行被动溅射以在所述类金刚石涂层上直接形成保护层；

进行反应溅射以直接在所述保护层上形成粘附层；

直接在所述粘附层上形成防指纹层。

12.根据权利要求11所述的方法，其中使用由硅组成的靶进行所述被动溅射。

13.根据权利要求12所述的方法，其中使用由硅组成的靶，在注入氧气和氮气中的至少一种时，进行所述反应溅射。

14.根据权利要求11所述的方法，其还包括在形成所述防指纹层之前对所述粘附层进行氢化。

15.根据权利要求14所述的方法，其还包括对所述粘附层和所述防指纹层之间的界面进行脱水。

16.根据权利要求15所述的方法，其中所述脱水包括对所述玻璃进行退火。

17.根据权利要求14所述的方法，其中所述氢化包括将所述玻璃置于室中并向所述室中注入蒸汽。

18.根据权利要求17所述的方法，其中进行形成类金刚石涂层、氢化和形成防指纹涂层的步骤，而不将所述玻璃从真空环境中移出。

19.根据权利要求11所述的方法，其中所述防指纹涂层由氟烷基硅烷组成。

20.根据权利要求11所述的方法，其还包括在所述玻璃和类金刚石涂层之间形成抗反射涂层。