[发明专利]使用XPS和XRF技术的多层和多过程信息的前馈在审
| 申请号： | 201580045322.0 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN106574904A | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 希瑟·A·波伊斯;李维迪;劳伦斯·V·博特;迈克尔·C·关;马克·克拉雷;查理斯·托马斯·拉森 | 申请（专利权）人： | 瑞沃拉公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22;G01N23/223;G01N23/227;G01B15/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 梁丽超,陈鹏 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 xps xrf 技术 多层 过程 信息 | ||
【说明书】：
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