[发明专利]管口装置和处理设备

权利要求书

1.一种管口装置，包括：

第一开口；

多个第二开口；以及

包括至少一个第一分岔部分的第一管路部分，所述至少一个第一分岔部分具有在第一方向上延伸的第一部分和连接到所述第一部分的第一端并且在与所述第一方向相交的各方向上延伸的多个第二部分，所述第一管路部分连接所述第一开口和所述第二开口，在从所述第一开口延伸到所述第二开口的路径中被所述第一分岔部分分岔至少一次，并在所述第一开口和所述第二开口之间具有相同的路径长度和相同数量的第一分岔部分，其中

所述第一部分的所述第一端的横截面积小于所述第一部分的第二端的横截面积，并且

所述第一部分的横截面形状在所述第一部分延伸的方向上的平面视图中在另一第一分岔部分与所述第一部分正交的第二部分延伸的方向上的长度小于其在与所述第一方向和所述第二部分延伸的方向都正交的第二方向上的长度。

2.根据权利要求1所述的管口装置，其中

所述第一分岔部分的所述第一部分的所述第二端连接到另一第一分岔部分的第二部分，

所述第一部分的所述第一端和所述第二端的宽度是在所述第一部分延伸的方向上的平面视图中所述另一第一分岔部分与所述第一部分正交的第二部分延伸的方向上的长度，并且

所述第一部分的所述第一端的宽度小于所述第一部分的所述第二端的宽度。

3.根据权利要求2所述的管口装置，其中所述第一部分的所述第一端的宽度小于或等于所述第一部分的所述第二端的宽度的80％。

4.根据权利要求1所述的管口装置，进一步包括：

第三开口；

多个第四开口；以及

包括至少一个第二分岔部分的第二管路部分，所述至少一个第二分岔部分具有在所述第一方向上延伸的第三部分和连接到所述第三部分的第一端并且在与所述第一方向相交的各方向上延伸的多个第四部分，所述第二管路部分连接所述第三开口和所述第四开口，在从所述第三开口延伸到所述第四开口的路径中被所述第二分岔部分分岔至少一次，并且在所述第三开口和所述第四开口之间具有相同的路径长度和相同数量的第二分岔部分，其中

所述第一管路部分进一步包括第一管口部分，所述第一管口部分在从所述第一开口延伸到所述第二开口的路径中将所述第一分岔部分最靠近所述第二开口的所述第二部分连接到各第二开口，

所述第二管路部分进一步包括第二管口部分，所述第二管口部分在从所述第三开口延伸到所述第四开口的路径中将所述第二分岔部分最靠近所述第四开口的所述第四部分连接到各第四开口，并且以相交的方式连接到所述第一管口部分，

所述第一管口部分具有第一小直径部分，所述第一小直径部分在从所述第一开口延伸到所述第二开口的路径中设置在比连接到所述第二管口部分的部分更靠近所述第一开口的位置处并且在所述第一管口部分中具有较小的横截面积，并且

所述第二管口部分具有第二小直径部分，所述第二小直径部分在从所述第三开口延伸到所述第四开口的路径中设置在比连接到所述第一管口部分的部分更靠近所述第三开口的位置处并且在所述第二管口部分中具有较小的横截面积。

5.一种处理设备，包括：

根据权利要求1所述的管口装置；

配置为容纳流体的容纳单元；以及

配置为将所述容纳单元中的所述流体供应到所述第一开口的供应单元。