[发明专利]管口装置和处理设备

说明书

根据实施例的管口装置设有第一开口部分(22)、多个第二开口部分(23)和第一管路部分(24)。第一管路部分(24)具有至少一个第一分岔部分(31)，所述至少一个第一分岔部分(31)具有在第一方向上延伸的第一部分(41)和连接到第一部分(41)的第一端并且在与第一方向相交的各方向上延伸的多个第二部分(42)，第一管路部分(24)连接第一开口部分(22)和多个第二开口部分(23)并且在从第一开口部分(22)延伸到第二开口部分(23)的路径中被第一分岔部分(31)分岔至少一次，第一开口部分(22)和各第二开口部分(23)之间的路径长度和第一分岔部分的数量相同。第一部分(41)的第一端的横截面积小于第一部分(41)的第二端的横截面积。

技术领域

本文所描述的实施例总体涉及管口装置和处理设备。

背景技术

常规上已知的管口从多个开口排出或吸取流体。这样的管口例如通过连接单个供应口和多个开口的管路传送从单个供应口供应的流体并且从开口排出流体。

附图说明

图1是简略地示意了根据第一实施例的处理设备的简图。

图2是根据第一实施例的管口装置的立体图。

图3是根据第一实施例的分岔部分的形状的立体图。

图4是根据第一实施例的分岔部分的形状的平面图。

图5是简略地示意了根据第一实施例的惰性气体从其流动通过的分岔部分的平面图。

图6是指示根据第一实施例的关于分岔部分宽度比的分岔误差的图表。

图7是根据第二实施例的分岔部分的形状的平面图。

图8是指示根据第二实施例的关于纵横比的分岔误差的图表。

图9是根据第三实施例的分岔部分的形状的平面图。

图10是根据第三实施例的分岔部分的修改的平面图。

图11是根据第四实施例的分岔部分的形状的平面图。

图12是简略地示意了根据第五实施例的管口装置的平面图。

图13是以放大的方式示意了根据第五实施例的第一倾斜部分和第二倾斜部分的截面图。

图14是根据第六实施例的管口装置的立体图。

具体实施方式

根据一个实施例，管口装置包括第一开口、多个第二开口和第一管路部分。第一管路部分包括至少一个第一分岔部分，所述至少一个第一分岔部分具有在第一方向上延伸的第一部分和连接到第一部分的第一端并且在与第一方向相交的各方向上延伸的多个第二部分，第一管路部分连接第一开口和第二开口，在从第一开口延伸到第二开口的路径中被第一分岔部分分岔至少一次，并且在第一开口和第二开口之间具有相同的路径长度和相同数量的第一分岔部分。第一部分的第一端的横截面积小于第一部分的第二端的横截面积。

下面参考图1-6描述第一实施例。为了指定根据本实施例的部件并对它们进行说明，可使用多个表述。对于所述部件和对其的说明，不阻止使用不在本文中使用的其他表述。另外，对于未以多个表述进行描述的部件和对其的说明，不阻止使用其他表述。

图1是简略地示意了根据第一实施例的处理设备10的简图。处理设备10是例如执行激光束加工的设备。处理设备10不限于此。如在图1中示意的，处理设备10包括控制单元11、槽12、泵13、处理室14和多个管口装置15。槽12是容纳单元的示例。泵13是供应单元的示例。