[发明专利]对准多通道接收器或发送器平台中的光学部件

权利要求书

1.一种用于无源对准用于复用/解复用多波长光信号的光学部件的方法，包括：

将反射镜布设在衬底的第一腔体中，使得所述反射镜和所述第一腔体的相应表面处于接触状态，并且将所述反射镜和所述第一腔体布置为相互之间存在第一预定关系；

将滤光器布设在所述衬底的第二腔体中，使得所述滤光器和所述第二腔体的相应表面处于接触状态，并且将所述滤光器和所述第二腔体布置为相互之间存在第二预定关系，

其中，所述第一腔体和所述第二腔体被相对于彼此布置，从而布设所述反射镜和所述滤光器使得所述反射镜和所述滤光器被无源地对准，以使用入射到所述滤光器上的光信号来执行解复用功能和复用功能中的一种功能；以及

在将所述反射镜和所述滤光器布设到所述衬底上后，将所述衬底布设在不同衬底上的第三腔体内，其中，所述不同衬底包括被配置为执行以下处理之一的至少一个光学部件：接收来自所述滤光器的单波长光信号以及向所述滤光器发送单波长光信号，其中

所述第三腔体包括与所述衬底的尺寸基本匹配的尺寸，使得所述滤光器与安装在所述不同衬底上的所述至少一个光学部件被无源对准。

2.如权利要求1所述的方法，其中，蚀刻所述第一腔体和蚀刻所述第二腔体发生在同一蚀刻步骤中。

3.如权利要求1所述的方法，还包括：

在所述衬底的表面上蚀刻多个腔体；以及

将多个滤光器中的每个滤光器布设在相应的腔体中，每个相应的腔体包括用于对准所述多个滤光器中相应的一个滤光器以执行解复用功能和复用功能中的一种功能的至少两个对准表面，其中所述多个滤光器和所述反射镜形成锯齿形解复用器或复用器。

4.如权利要求1所述的方法，还包括：

在所述衬底上形成用于夹持光源的集成槽，其中，所述集成槽被与所述第二腔体对准。

5.如权利要求1所述的方法，还包括：

在半导体晶片上形成多个衬底，所述多个衬底中的每个衬底包括所述第一腔体和所述第二腔体；

将各个反射镜和滤光器布设在所述多个衬底中的每个衬底的所述第一腔体和所述第二腔体中。

6.一种光学设备，包括：

基座，包括：

包括第一腔体和第二腔体的第一衬底，所述第一腔体和所述第二腔体分别从相同表面延伸到所述第一衬底中，

布设在所述第一腔体中的反射镜，其中，所述反射镜和所述第一腔体的相应表面处于接触状态，并且将所述反射镜和所述第一腔体布置为相互之间存在第一预定关系；以及

布设在所述第二腔体中的至少一个滤光器，其中，所述滤光器和所述第二腔体的相应表面处于接触状态，并且将所述滤光器和所述第二腔体布置为相互之间存在第二预定关系，

其中，所述第一预定关系和所述第二预定关系无源地将所述滤光器和所述反射镜对准，以使用入射到所述滤光器上的光信号执行解复用功能和复用功能中的一种功能；以及

第二衬底，包括：

第三腔体，其中，所述第一衬底和所述第三腔体的相应表面处于接触状态，并且将所述第一衬底和所述第三腔体布置为相互之间存在第三预定关系，以及

光学部件，被配置为接收来自所述滤光器的单波长光信号，并且将单波长光信号发送到所述滤光器，其中

所述第三腔体包括与所述第一衬底的尺寸基本匹配的尺寸，使得所述滤光器与所述光学部件被无源对准。

7.如权利要求6所述的光学设备，其中，所述光学部件包括光电检测器，所述光电检测器被配置为将接收自所述滤光器的所述单波长光信号转换为电信号。

8.如权利要求6所述的光学设备，其中，所述光学部件包括被安装在所述第二衬底上并且与所述滤光器对准的光源，所述光源被配置为向所述滤光器发送所述单波长光信号。

9.如权利要求6所述的光学设备，其中，所述基座包括多个滤光器，所述多个滤光器分别被布设在从所述相同表面延伸到所述第一衬底中的相应腔体中，其中，所述多个滤光器和所述反射镜形成锯齿形解复用器或复用器。