[发明专利]固体摄影装置、固体摄影装置的制造方法以及电子机器

权利要求书

1.一种固体摄影装置，其中，

包括：感光部，包含行列状配置的多个光电转换器件以及以列或行单位转送上述多个光电转换器件的信号电荷的多个电荷转送部；

多个电荷蓄积部，蓄积上述感光部的上述多个电荷转送部转送的信号电荷；

中继部，对上述感光部的上述多个电荷转送部转送的信号电荷往上述各电荷蓄积部的转送进行中继；

输出部，输出上述多个电荷蓄积部内蓄积的信号电荷作为电信号；

第1基板，在该第1基板上形成有上述感光部；以及

第2基板，在该第2基板上形成有上述电荷蓄积部以及上述输出部，

至少第1基板与第2基板叠层，

上述感光部的感光区域，包含多个光电转换器件的全部以及多个电荷转送部的一部分，同一列或行单位的多个电荷转送部的另一部分，位于上述感光区域的外侧，

上述中继部在上述感光部的感光区域外经由通过基板的连接部电气结合上述第1基板上形成的电荷转送部的上述另一部分与上述第2基板上形成的上述电荷蓄积部。

2.如权利要求1所述的固体摄影装置，其中，

上述第2基板中，

上述电荷蓄积部的一端部形成输入端部，另一端部形成与上述输出部连接的输出端部；

上述中继部，

以上述连接部电气结合位于上述电荷转送部的上述感光区域外的各输出端部与上述各电荷蓄积部的输入端部。

3.如权利要求1所述的固体摄影装置，其中，

上述中继部包含：

中继选择装置，选择性连接多个上述电荷转送部与多个上述电荷蓄积部。

4.如权利要求3所述的固体摄影装置，其中，

上述中继选择装置，

能够对并联的上述多个电荷转送部的信号电荷进行相加或间除。

5.如权利要求1所述的固体摄影装置，其中，

上述第2基板包含：

输出选择装置，选择性连接多个上述电荷蓄积部与输出部。

6.如权利要求5所述的固体摄影装置，其中，

上述输出选择装置，

能够对并联的上述多个电荷蓄积部的信号电荷进行相加或间除。

7.如权利要求1所述的固体摄影装置，其中，

上述中继部，

在上述感光部的感光区域外经由贯通孔连接上述第1基板上形成的电荷转送部与上述第2基板上形成的上述电荷蓄积部。

8.如权利要求7所述的固体摄影装置，其中，

在通过上述贯通孔从上述电荷转送部向上述信号电荷蓄积部进行转送时，该贯通孔被设定为中间电位。

9.如权利要求1所述的固体摄影装置，其中，

上述第1基板以第1导电型基板形成，

上述第2基板以第2导电型基板形成。

10.如权利要求1所述的固体摄影装置，其中，

上述第1基板，

以n型基板或n-阱区形成，具有纵型溢流口构造。

11.如权利要求1所述的固体摄影装置，其中，

上述第2基板上，

至少形成处理上述输出部的输出信号的模拟数字转换器以及将多个位的图像数据从并行数据转换成串行数据的串行器。

12.如权利要求11所述的固体摄影装置，其中，

上述第2基板上，

形成电压产生电路及驱动脉冲产生器。

13.如权利要求11所述的固体摄影装置，其中，

上述第2基板上，

形成共享驱动脉冲与输出信号脉冲端子的装置。