[发明专利]固体摄影装置、固体摄影装置的制造方法以及电子机器

说明书

固体摄影装置(100)，具有感光部(210)，包含多个电荷转送部，以列单位转送行列状配置的多个光电变换器件的信号电荷；转换输出部(220)，将电荷转送部转送的信号电荷转换为电信号再输出；周边电路部(300)，对于转换输出部产生的电信号进行既定的处理；中继部(230)，对转换输出部产生的电信号往周边电路部的转送进行中继；第1基板(110)，形成感光部及转换输出部；以及，第2基板(120)，形成周边电路部，其中，第1基板与第2基板叠层，中继部(230)在感光部的感光区域外经由通过基板的连接部将第1基板上形成的转换输出部与第2基板上形成的周边电路部电连接。

技术领域

本发明涉及检测光并使用使电荷产生的光电转换器件的固体摄影装置、固体摄影装置的制造方法以及电子机器。

背景技术

作为检测光并使用使电荷产生的光电转换器件的固体摄影装置(图像传感器)，实际使用提供CCD(电荷耦合器件)图像传感器或CMOS(互补式金属氧化半导体)图像传感器。

CCD图像传感器及CMOS图像传感器，广泛应用为数字摄影机、影像摄影机、监视摄影机、医疗用内视镜、个人计算机(PC)、移动电话等的行动终端装置(可移动机器)等的各种电子机器的一部分。

CCD图像传感器与CMOS图像传感器，将光电二极管用作光电转换器件，但光电转换的信号电荷的转送方式不同。

CCD图像传感器中，垂直转送部(垂直CCD、VCCD)与水平转送部(水平CCD、HCCD)转送信号电荷至输出部之后转换为电信号并放大。

相对于此，CMOS图像传感器中，放大按照包含光电二极管的每一像素转换得到的电荷并输出作为读出信号。

以下，说明关于CCD图像传感器及CMOS图像传感器的基本构成。

图1是表示行间转送(IT)型CCD图像传感器的基本构成的图。

IT(行间转送)型CCD图像传感器1，基本上包括感光部2、水平转送部(水平CCD)3、及输出部4而构成。

感光部2，具有多个像素部21，配置为行列状，将入射光转换为与其光量相应的电荷量的信号电荷；以及垂直转送部(垂直CCD)22，作为以列单位垂直转送多个像素部21的各信号电荷的被遮光的电荷转送部。

水平CCD3，在水平扫描期间从多个垂直CCD22依序水平转送移位的1行的信号电荷。

输出部4，包含将转送的信号电荷转换为信号电压的、作为电荷检测用浮动扩散层的Floating Diffusion(FD：浮动扩散)，输出以FD得到的信号至未图示的信号处理系统。

此IT型的CCD图像传感器1中，垂直CCD作用为模拟存储器，重复线性位移与CCD3的水平转送，从输出部4依序输出全像素的信号(帧信号)。

此IT型CCD图像传感器1，能够进行循序读出(循序扫描)，但因为以水平CCD3转送信号电荷，成为难以高速转送的构造。

图2是表示帧行间转送(FIT)型CCD图像传感器的基本构成图。

FIT(帧行间转送)型CCD图像传感器1A，在IT型CCD图像传感器1的感光部2的垂直CCD22的输出段与水平CCD3之间，具有配置遮光的电荷蓄积部(储存部)5的构成。

FIT型CCD图像传感器1A中，从接收来自像素部21的信号电荷(束)的感光部2的垂直CCD22，以高速帧转送同时转送全信号电荷至完全遮光的蓄积部5。

而且，FIT型CCD图像传感器1A，因为由垂直CCD22同时转送感光部2中从像素部21读出的信号电荷至蓄积部5，相较于图1的IT型CCD图像传感器1，可以高速转送。