[发明专利]水反应性Al复合材料、水反应性Al合金喷镀膜、该膜的制法及成膜室用构成部件

权利要求书

1.喷镀用水反应性Al复合材料，其特征在于，在Al中以Al重量基准计添加0.2wt％以上2wt％以下的Bi、1.5wt％以上8wt％以下的Si、0.2wt％以上4wt％以下的Ti、0.2wt％以上2wt％以下的Ce、以及0.2wt％以上2wt％以下的Mg而成。

2.水反应性Al合金喷镀膜的制造方法，其特征在于，以组成变得均匀的方式将在Al中以Al重量基准计添加0.2wt％以上2wt％以下的Bi、1.5wt％以上8wt％以下的Si、0.2wt％以上4wt％以下的Ti、0.2wt％以上2wt％以下的Ce、以及0.2wt％以上2wt％以下的Mg而成的材料熔融，将该熔融材料对基材表面进行喷镀而使其急冷凝固，由此进行成膜。

3.水反应性Al合金喷镀膜，其特征在于，由权利要求1所述的喷镀用水反应性Al复合材料构成。

4.成膜装置的成膜室用构成部件，其特征在于，在表面具备由权利要求1所述的喷镀用水反应性Al复合材料构成的水反应性Al合金喷镀膜。

5.权利要求4所述的成膜室用构成部件，其特征在于，所述构成部件为防粘着板、开闭器或掩膜。