[实用新型]一种基片涂胶吸盘

权利要求书

1.一种基片涂胶吸盘，其特征在于，由吸盘主体（101）、基片定位柱（102）、以及密封圈（103）组成，所述基片涂胶吸盘上表面刻有凹槽（104），在所述吸盘主体（101）上表面靠近端部的位置设置有所述基片定位柱（102），所述吸盘主体（101）中间设置有柱状的卡套（105），其中密封圈（103）位于卡套（105）内。

2.根据权利要求1所述基片涂胶吸盘，其特征在于，所述吸盘主体(101)由金属制得。

3.根据权利要求2所述的基片涂胶吸盘，其特征在于，所述密封圈(103)的材质为硅橡胶，所述密封圈（103）的直径与所述密封圈（103）的卡槽宽度匹配。

4.根据权利要求1或3所述的基片涂胶吸盘，其特征在于，所述密封圈（103）的数量至少为2个。

5.根据权利要求4所述的基片涂胶吸盘，其特征在于，首尾两个密封圈之间的间隔大于卡套长度的1/2。

6.根据权利要求1所述的基片涂胶吸盘，其特征在于，所述基片定位柱（102）的材质为金属、合金或硬质塑料中的一种，所述基片定位柱（102）的长度略高于基片厚度。

7.根据权利要求1所述的基片涂胶吸盘，其特征在于，所述凹槽（104）的形状为矩形、V形或梯形中的一种。

8.根据权利要求1或7所述的基片涂胶吸盘，所述凹槽（104）之间的距离不小于所述凹槽（104）的宽度。