[实用新型]一种硅片研磨砂浆搅拌装置有效

专利信息
申请号: 201521090242.0 申请日: 2015-12-24
公开(公告)号: CN205235841U 公开(公告)日: 2016-05-18
发明(设计)人: 裴保齐;周涛;蒋建国 申请(专利权)人: 洛阳鸿泰半导体有限公司
主分类号: B01F7/18 分类号: B01F7/18;B01F7/00;B01F15/00
代理公司: 洛阳明律专利代理事务所 41118 代理人: 杨淑敏
地址: 471023 河南省洛阳市高*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 研磨 砂浆 搅拌 装置
【说明书】:

【技术领域】

实用新型涉及硅片回收设备领域,尤其是涉及一种硅片研磨砂浆搅拌装置。

【背景技术】

公知的,目前在半导体硅片研磨过程中需要用到大量的砂浆,在研磨过程中,研磨砂浆都是一次性的,砂浆用完都随时排掉了,因此使得硅片研磨的成本居高不下,同时排掉的砂浆对环境也造成了污染,如果能够把用过的砂浆回收处理再利用,既可以提高经济效益,还可以减少对环境的污染。

【实用新型内容】

为了克服背景技术中的不足,本实用新型公开了一种硅片研磨砂浆搅拌装置,本实用新型通过在搅拌桶内设置旋转轴,在旋转轴上设置电机和搅拌板,以此来达到搅拌砂浆和提高砂浆利用率的目的。

为了实现所述实用新型目的,本实用新型采用如下技术方案:

一种硅片研磨砂浆搅拌装置,包括搅拌桶、电机、上盖、固定板、旋转轴和搅拌板,在搅拌桶上设有上盖,上盖上设有固定板,固定板上设有电机,搅拌桶内设有旋转轴,旋转轴一端与电机相连接,在旋转轴上设有搅拌板,搅拌板由上搅拌板和下搅拌板构成,上搅拌板和下搅拌板分别设置在旋转轴的上部和下部。

所述上盖上设有观察窗,观察窗由透明材质制作而成。

所述上搅拌板和下搅拌板均为弧形结构,上搅拌板和下搅拌板垂直于旋转轴设置在旋转轴上,下搅拌板设置在旋转轴的底端,下搅拌板与桶底相互平行,在下搅拌板底部边缘设有铲板,上搅拌板设置在旋转轴的上部,上搅拌板的弧形与下搅拌板的弧形相对。

所述铲板为长方型结构,铲板一端与下搅拌板相连接,铲板另一端与桶底相接触。

所述上搅拌板至少为一个,上搅拌板平均分布在下搅拌板上方的旋转轴上。

由于采用了上述技术方案,本实用新型具有如下有益效果:

本实用新型所述的一种硅片研磨砂浆搅拌装置,包括搅拌桶、电机、上盖、固定板、旋转轴和搅拌板,通过在搅拌桶内设置旋转轴,在旋转轴上设置电机和搅拌板,以此来达到搅拌砂浆和提高砂浆利用率的目的;本实用新型实用性强,可以对搅拌桶内的砂浆均匀的进行搅拌,使砂浆在搅拌的过程中进行对流式搅拌,提高了砂浆的利用率,同时也减少了对环境的污染。

【附图说明】

图1为本实用新型的搅拌结构立体示意图;

图2为本实用新型的立体结构示意图;

图中:1、旋转轴;2、上搅拌板;3、下搅拌板;4、铲板;5、电机;6、固定板;7、观察窗;8、上盖;9、搅拌桶。

【具体实施方式】

通过下面的实施例可以详细的解释本实用新型,公开本实用新型的目的旨在保护本实用新型范围内的一切技术改进。

结合附图1~2所述的一种硅片研磨砂浆搅拌装置,包括搅拌桶9、电机5、上盖8、固定板6、旋转轴1和搅拌板,在搅拌桶9上设有上盖8,上盖8上设有固定板6,固定板6上设有电机5,搅拌桶9内设有旋转轴1,旋转轴1一端与电机5相连接,在旋转轴1上设有搅拌板,搅拌板由上搅拌板2和下搅拌板3构成,上搅拌板2和下搅拌板3分别设置在旋转轴1的上部和下部;所述上盖8上设有观察窗7,观察窗7由透明材质制作而成;所述上搅拌板2和下搅拌板7均为弧形结构,上搅拌板2和下搅拌板3垂直于旋转轴1设置在旋转轴1上,下搅拌板3设置在旋转轴1的底端,下搅拌板3与桶底相互平行,在下搅拌板3底部边缘设有铲板4,上搅拌板2设置在旋转轴1的上部,上搅拌板2的弧形与下搅拌板3的弧形相对;所述铲板4为长方型结构,铲板4一端与下搅拌板3相连接,铲板4另一端与桶底相接触;所述上搅拌板2至少为一个,上搅拌板2平均分布在下搅拌板3上方的旋转轴1上。

实施本实用新型所述的一种硅片研磨砂浆搅拌装置,在使用时,先打开搅拌桶9上的上盖8,然后将砂浆注入到搅拌桶9内,再盖上上盖8,这时就可以打开电机5进行工作了,电机5带动旋转轴1,旋转轴1再带动上搅拌板2和下搅拌板3,由于上搅拌板2和下搅拌板3均为弧形的结构,因此,在搅拌的过程中,下搅拌板3会将砂浆向上卷起,而上搅拌板3使砂浆向下运动,这样砂浆就会使砂浆在搅拌桶9内进行对流式的运动,而下搅拌板3上的铲板4可以使得搅拌桶9底部的砂浆更好的铲起来,方便了砂浆的运动,搅拌过程中,可以冲上盖8上的观察窗对砂浆搅拌的情况进行观察,等砂浆搅拌好之后就可以进行下一到工序了。

本实用新型未详述部分为现有技术。

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