[实用新型]一种酸性蚀刻废液再生回用装置

权利要求书

1.一种酸性蚀刻废液再生回用装置，其特征在于：包括盐酸储罐、 蚀刻机和由阳极室和阴极室组成的电解槽；所述盐酸储罐与蚀刻机通 过管路相连；所述蚀刻机分别与电解槽的阳极室和阴极室通过管路相 连；所述阳极室和阴极室通过导电隔膜分隔；所述导电隔膜阻隔铜离 子。

2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻废液再生回用装置，其特征在 于：所述阳极为多阶串联式结构，由主电极和至少一个副电极串联而 成；所述各电极之间留有间隙。

3.根据权利要求2所述的酸性蚀刻废液再生回用装置，其特征在 于：所述电极为平面状或网状或立体状。

4.根据权利要求2所述的酸性蚀刻废液再生回用装置，其特征在 于：所述主电极材料和副电极材料相同。

5.根据权利要求2所述的酸性蚀刻废液再生回用装置，其特征在 于：所述主电极材料和副电极材料不同。

6.根据权利要求1所述的酸性蚀刻废液再生回用装置，其特征在 于：所述蚀刻机与电解槽之间设有储液罐；所述蚀刻机与储液罐通过 管路相连；所述储液罐与电解槽的阳极室通过管路相连。

7.根据权利要求6所述的酸性蚀刻废液再生回用装置，其特征在 于：所述蚀刻机与电解槽之间设有阴极液储罐和调整罐；所述阴极液 储罐与电解槽的阴极室通过管路相连；所述调整罐与电解槽的阳极室 相连；所述阴极液储罐与调整罐通过管路相连；所述调整罐与蚀刻机 通过管路相连。