[实用新型]一种硅烷放空装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅烷放空装置，属于化工材料生产设备领域。

背景技术

在硅烷生产过程中，由于生产需要，各工艺装置都不可避免的会排 放一定量的尾气。随着生产规模不断扩张，尾气排放量也随之激增，一方 面会大量浪费尾气中的氯硅烷资源；另一方面由于氯硅烷具有污染性，如 外泄会对环境造成严重污染，因此，需要对多晶硅生产过程中形成的尾气 进行相应处理后再正常排放。

目前，国内硅烷硅生产厂家的尾气处理装置一般包括淋洗塔、喷淋泵 和废液池，将尾气汇总并送入尾气淋洗塔后，经喷淋泵喷出的淋洗液将尾 气中易溶于水的氯化氢、氯硅烷等淋洗下来，而不溶于水且无污染的氢气 和氮气在淋洗后经尾气排放口直接放空，淋洗后形成的废液直接运输至废 液池。但是，淋洗后形成的废液含水率极高且具有腐蚀性，使得运输设施 容易被腐蚀损坏，废液中的废渣还容易阻塞运输管道，且废液运输和人工 捞渣过程对周围环境的污染较为严重。此外，淋洗过程中采用的淋洗液(如 纯水或碱液)不能循环利用，导致淋洗液用量巨大，从而增加了废液的产 生量和处理成本。

并且，在硅烷生产及储存过程中，由于极易水解，原料或产品易与空 气中的水分发生反应，形成水解物，造成管道或设备的堵塞，影响生产或 产品质量。

实用新型内容

本实用新型主要是解决现有技术所存在的上述的技术问题，提供了一 种硅烷放空装置。该硅烷放空装置易于拆卸与更换，干燥与放空效果良好。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

一种硅烷放空装置，包括壳体，所述壳体内部被挡板分为上下两个腔 体，分别是上腔体和下腔体，所述下腔体外侧壁上设置有出气口，下部设 置有收集口；所述上腔体内部设置有玻钎布，所述玻钎布上设置有干燥剂， 所述上腔体顶部设置有排气管，所述挡板上设置有通气孔；

优化的，上述的一种硅烷放空装置，所述挡板倾斜设置。

优化的，上述的一种硅烷放空装置，所述收集口上连接有气体阀。

优化的，上述的一种硅烷放空装置，所述排气管弯曲设置。

优化的，上述的一种硅烷放空装置，所述壳体底部为一球面形状，所 述收集口位于球面顶部位置。

因此，本实用新型具有如下优点：该硅烷放空装置易于拆卸与更换， 干燥与放空效果良好。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具 体的说明。

图中，1、出气口；2、挡板；3、玻钎布；4、干燥剂；5、螺丝连接； 6、盖板；7、排气管；8、收集口。

实施例：

如图1所示，一种硅烷放空装置，包括壳体，壳体内部被挡板2分为 上下两个腔体，分别是上腔体和下腔体，下腔体外侧壁上设置有出气口1， 下部设置有收集口8；上腔体内部设置有玻钎布3，玻钎布3上设置有干燥 剂4，上腔体顶部设置有排气管7，挡板2上设置有通气孔；壳体底部为一 球面形状，收集口8位于球面顶部位置。

本实施例中，挡板2倾斜设置，收集口8上连接有气体阀，排气管弯 曲设置。

采用上述结构后，出气口1接放空设备或管道，放空气体经筛板、玻 钎布、干燥剂，与大气相通。干燥剂用3A分子筛置于玻钎布上，挡板钻有 若干均匀小孔倾斜放置。少量气体中夹带液累积到收集口处，间隔一段时 间后定期排出。外界空气经干燥剂干燥后与设备或管道相通。

放空装置使用一段时间后，如出现放空不畅现象，可拆卸螺丝及盖板， 更换干燥剂及玻钎布。该放空装置易于拆卸与更换，干燥与放空效果良好。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本 实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样 的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或 者超越所附权利要求书所定义的范围。

尽管本文较多地使用了1、出气口；2、挡板；3、玻钎布；4、干燥剂； 5、螺丝连接；6、盖板；7、排气管；8、收集口等术语，但并不排除使用 其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用 新型的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相 违背的。