[实用新型]一种硅烷放空装置有效

专利信息
申请号: 201520981584.5 申请日: 2015-12-01
公开(公告)号: CN205164459U 公开(公告)日: 2016-04-20
发明(设计)人: 邱猛勇 申请(专利权)人: 湖北汉贝化工有限公司
主分类号: B01D53/26 分类号: B01D53/26;B01D46/00
代理公司: 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 代理人: 李艳双
地址: 433100 *** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅烷 放空 装置
【权利要求书】:

1.一种硅烷放空装置,包括壳体,其特征在于,所述壳体内部被挡板 (2)分为上下两个腔体,分别是上腔体和下腔体,所述下腔体外侧壁上设 置有出气口(1),下部设置有收集口(8);所述上腔体内部设置有玻钎布 (3),所述玻钎布(3)上设置有干燥剂(4),所述上腔体顶部设置有排气 管(7),所述挡板(2)上设置有通气孔。

2.根据权利要求1所述的一种硅烷放空装置,其特征在于,所述挡板 (2)倾斜设置。

3.根据权利要求1所述的一种硅烷放空装置,其特征在于,所述收集 口(8)上连接有气体阀。

4.根据权利要求1所述的一种硅烷放空装置,其特征在于,所述排气 管(7)弯曲设置。

5.根据权利要求1所述的一种硅烷放空装置,其特征在于,所述壳体 底部为一球面形状,所述收集口(8)位于球面顶部位置。

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