[实用新型]一种硅片用显影机

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体材料生产技术领域，尤其是涉及一种硅片用显影机。

背景技术

在半导体芯片制造过程中，硅片经涂胶、曝光后需由显影机将硅片上的图形进行显影，机台显影能力直接影响硅片内图形线宽的均匀性和缺陷数目的多少。

硅片在进行显影处理时，为了提高显影效率、节约处理时间，一般是将盛放多片硅片的花篮置于显影液中，然后显影液将覆盖整个花篮中各个硅片，这样就存在这样一个问题：将花篮从显影液中取出较为困难，即便是采用夹子等辅助工具，也难以避免从花篮流出的显影液的污染问题。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺点，提供一种在动力部分带动下能升降花篮的显影机，显影前，将花篮挂接在挂架上，显影完成后，挂架将花篮带离显影液，同时还可在显影过程中晃动花篮，以保证显影的均匀性，采用的技术方案是：一种硅片用显影机，包括机台，在所述机台上设有显影液槽，其特征在于：所述显影机还包括花篮传动部分，所述花篮传动部分包括动力部件，所述动力部件包括转轴，在所述转轴上安装有偏心轮，所述偏心轮连接挂架。

本实用新型的技术特征还有：所述偏心轮上设有销轴，所述销轴连接所述挂架。

本实用新型的技术特征还有：所述挂架包括与所述销轴连接的连杆，所述连杆连接连接板，所述连接板连接挂板，在所述挂板的端部设有挂钩。

本实用新型的技术特征还有：装有硅片的花篮连接在所述挂钩上。

本实用新型的技术特征还有：所述机台上设有4个显影液槽，每个显影液槽均对应一套花篮传动部分。

本实用新型的有益效果在于：本新型在现有技术的基础上增设了花篮传动部分，该部分可带动连接在其上的花篮上升或者下降，从而可将硅片浸入显影液或者从显影液中提出，提出后花篮高于显影液液面，残留在硅片的液体可直接流入显影液槽内，避免了显影液对机台及周围环境造成污染，显影中还可通过传动部分晃动花篮，以改善显影效果；本新型具有显影效果好、使用便利、对机台无污染之优点。

附图说明

附图1是本实用新型结构示意图，其中1是机台，2是动力部件，3是转轴，4是销轴，5是挂架，51是连杆，52是连接板，53是挂板，54是挂钩，6是显影液槽，7是控制面板，8是偏心轮。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行说明。本实用新型公开了一种硅片用显影机，该显影机包括机台1、花篮传动部分和控制部分，在机台1上设有盛放显影液的显影液槽6，花篮传动部分包括动力部件，动力部件包括转轴3，在转轴3上安装有偏心轮8，在偏心轮8上设有销轴4，销轴4连接挂架5，挂架5活动连接花篮（图中未示出）。

挂架5包括与销轴固定连接的连杆51，连杆51连接连接板52，连接板52连接挂板53，在挂板53的端部设有挂钩54，装有硅片的花篮连接在挂钩54上。

本实施例中机台上设有4个显影液槽，每个显影液槽均对应一套花篮传动部分。

当然，上述说明并非对本实用新型的限制，本实用新型也不仅限于上述举例，本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本实用新型的保护范围。