[实用新型]一种金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机

权利要求书

1.一种金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机，包括真空腔体、抽气机和控制柜，所述真空腔体内设置有加热装置和磁控溅射系统，所述抽气机与所述真空腔体连通，其特征在于：还包括与所述真空腔体连通的充气机，所述抽气机和所述充气机分别位于所述真空腔体的上下两侧，所述抽气机的抽气口正对所述充气机的充气口，所述真空腔体内的左右两端分别设置有放卷机和收卷机，所述加热装置和所述磁控溅射系统分别位于所述真空腔体内的上下两端，所述充气机、所述放卷机和所述收卷机的控制信号输入端均与所述控制柜的控制信号输出端连接。

2.根据权利要求1所述的金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述放卷机的转轴与所述收卷机的转轴竖直安装且相互平行，所述放卷机与所述收卷机的卷辊均位于所述加热装置和所述磁控溅射系统之间。

3.根据权利要求1所述的金属卷带表面高温真空磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述真空腔体内还设置有气体分布器，所述气体分布器包括通气管和分布管，所述通气管的一端与所述充气机的出气口连接，所述分布管设置有一个进气口和多个出气孔，所述通气管的另一端与所述分布管的进气口连接，所述通气分布管的多个出气孔均竖直朝上。