[实用新型]一种晶棒表面浆料回收的前处理装置有效

专利信息
申请号: 201520851441.2 申请日: 2015-10-30
公开(公告)号: CN205148649U 公开(公告)日: 2016-04-13
发明(设计)人: 朱孝吉;王禄宝 申请(专利权)人: 江苏美科硅能源有限公司
主分类号: B28D7/00 分类号: B28D7/00;B28D5/00
代理公司: 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 代理人: 陈丽君
地址: 212200 江苏省镇*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 表面 浆料 回收 处理 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型属于应用于新能源行业,用于切片后辅材的回收利用,具体涉及一种晶棒表面浆料回收的前处理装置。

背景技术

现有硅片切割后都是用自来水冲洗晶棒,将晶棒表面的浆料冲洗干净,其表面粘附的浆料约有4-5KG,浆料包括碳化硅和聚乙二醇,冲洗后废液都进入污水处理站,产生浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有的技术缺点,提供一种晶棒表面浆料回收的前处理装置,通过本装置可以对晶棒表面浆料的回收进行前置处理步骤,再进行回收利用,节约了资源,降低了成本,避免了浪费和污染。

为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是:

一种晶棒表面浆料回收的前处理装置,包括脱胶车、浸泡槽壁和浆料回收桶,所述脱胶车包括车架,所述车架为框架结构,车架底部设有四个车轮,车架顶部设有操作平台,所述操作平台上向内凹陷的设有矩形结构的第一凹槽,所述浸泡槽壁固定在操作平台上,包绕在第一凹槽外部,与第一凹槽结合形成一个完整的浸泡槽,所述浸泡槽的体积为110L;

所述第一凹槽上放液口,放液口通过放液管道与浆料回收桶相连接,所述放液口上设有阀门。

上述一种晶棒表面浆料回收的前处理装置,其中,所车架上设有扶手。

本实用新型的有益效果为:

通过本实用新型是通过脱胶车改造而成,结构简单,制作方便,可以对晶棒表面浆料的回收进行前置处理步骤,再进行回收利用,每1吨浸泡液可收集到20%的浆料,其中含有100kg聚乙二醇和100kg碳化硅,节约了资源,降低了成本,避免了浪费和污染。

附图说明

图1为本实用新型结构图。

图2为本实用新型剖视图。

图3为本实用新型浸泡槽剖视图。

具体实施方式

如图所示一种晶棒表面浆料回收的前处理装置,包括脱胶车1、浸泡槽壁2和浆料回收桶3,所述脱胶车1包括车架4,所车架4上设有扶手16,所述车架4为框架结构,车架4底部设有四个车轮5,车架4顶部设有操作平台6,所述操作平台6上向内凹陷的设有矩形结构的第一凹槽7,所述浸泡槽壁2固定在操作平台6上,包绕在第一凹槽7外部,与第一凹槽7结合形成一个完整的浸泡槽8,所述浸泡槽8的体积为110L;

所述第一凹槽7上放液口9,放液口9通过放液管道10与浆料回收桶3相连接,所述放液口9上设有阀门11。

利用本实用新型对晶棒表面浆料回收进行前处理的方法如下:

(1)在浸泡槽中注入50KG的水;

(2)将1刀长度为900mm的含有浆料的晶棒浸没在水中,5min后将晶棒取出;

(3)重复步骤(2)的操作,此时,晶棒表面浆料中的聚乙二醇溶解在水中,浆料中的碳化硅悬浮在水中,形成浑浊的浸泡液;

(4)24h后,打开晶棒表面浆料回收的前处理装置的阀门,将浸泡液通过放液管道收集至浆料回收桶中;

(5)重复步骤(1)(2)(3)(4)的操作,直至浆料回收桶中的浸泡液达到1t,此时,将收集到的浆料进行回收处理即可。

通过本实用新型是通过脱胶车改造而成,结构简单,制作方便,可以对晶棒表面浆料的回收进行前置处理步骤,再进行回收利用,每1吨浸泡液可收集到20%的浆料,其中含有100kg聚乙二醇和100kg碳化硅,节约了资源,降低了成本,避免了浪费和污染。

作为进一步的改进,所述浸泡槽8内设有收放机构12,所述收放机构12包括一块水平设置的第一滤板13和两块垂直固定在第一滤板13两侧的第二滤板14,所述第二滤板14的顶端设有L形结构的折边15,使用时将晶棒放置在第一滤板上,再将收放机构缓慢放入浸泡槽内,折边卡接在浸泡槽壁上即可起到固定作用;浸泡结束后,只需将收放机构提起,取出晶棒即可,避免了操作人员直接接触浸泡液,更加安全可靠。

再进一步的改进,所述浸泡槽壁2可拆卸的固定在操作平台6上。

这里本实用新型的描述和应用是说明性的,并非想将本实用新型的范围限制在上述实施例中,因此,本实用新型不受本实施例的限制,任何采用等效替换取得的技术方案均在本实用新型保护的范围内。

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