[实用新型]多晶硅还原炉电极绝缘隔热保护结构有效

专利信息
申请号: 201520798375.7 申请日: 2015-10-16
公开(公告)号: CN205087923U 公开(公告)日: 2016-03-16
发明(设计)人: 罗奕惠;何建和;许瑞冰;熊彪 申请(专利权)人: 景德镇晶达新材料有限公司
主分类号: C01B33/021 分类号: C01B33/021
代理公司: 景德镇市高岭专利事务所(普通合伙) 36120 代理人: 程雷
地址: 333400 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 多晶 还原 电极 绝缘 隔热 保护 结构
【权利要求书】:

1.一种多晶硅还原炉电极绝缘隔热保护结构,包括由氧化铝或氮化硅陶瓷材料制成的第一瓷环(2)、第二瓷环(3),其特征是:第一瓷环(2)为带T头的两个半环组合,卡入底盘和电极(1)之间;第二瓷环(3)位于第一瓷环下部,套装于电极(1)上,四氟套(4)套装在电极下部。

2.如权利要求1所述的多晶硅还原炉电极绝缘隔热保护结构,其特征是:所述第二瓷环(3)的上沿还设有一对孔(5)。

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