[实用新型]多晶硅还原炉电极绝缘隔热保护结构有效
| 申请号: | 201520798375.7 | 申请日: | 2015-10-16 |
| 公开(公告)号: | CN205087923U | 公开(公告)日: | 2016-03-16 |
| 发明(设计)人: | 罗奕惠;何建和;许瑞冰;熊彪 | 申请(专利权)人: | 景德镇晶达新材料有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
| 代理公司: | 景德镇市高岭专利事务所(普通合伙) 36120 | 代理人: | 程雷 |
| 地址: | 333400 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 多晶 还原 电极 绝缘 隔热 保护 结构 | ||
【权利要求书】:
1.一种多晶硅还原炉电极绝缘隔热保护结构,包括由氧化铝或氮化硅陶瓷材料制成的第一瓷环(2)、第二瓷环(3),其特征是:第一瓷环(2)为带T头的两个半环组合,卡入底盘和电极(1)之间;第二瓷环(3)位于第一瓷环下部,套装于电极(1)上,四氟套(4)套装在电极下部。
2.如权利要求1所述的多晶硅还原炉电极绝缘隔热保护结构,其特征是:所述第二瓷环(3)的上沿还设有一对孔(5)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于景德镇晶达新材料有限公司,未经景德镇晶达新材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520798375.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种带分布器石英砂酸洗装置
- 下一篇:电晕式臭氧发生器冷却装置





