[实用新型]放电检测电路有效

专利信息
申请号: 201520684701.1 申请日: 2015-09-06
公开(公告)号: CN204925328U 公开(公告)日: 2015-12-30
发明(设计)人: 李兴华;王振辉;王锦喆;许志俊;臧俊敏 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: G01R31/14 分类号: G01R31/14
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 放电 检测 电路
【权利要求书】:

1.一种放电检测电路,其特征在于,包括:

电平比较单元,接收一电流监控输出端的电压和一预定电压,并对所述电流监控输出端的电压和预定电压进行比较,当所述电流监控输出端的电压超过所述预定电压时,所述电平比较单元的输出电平翻转,当所述电流监控输出端的电压回落到所述预定电压以下时,所述电平比较单元的输出电平再次翻转;以及

脉冲输出单元,连接所述电平比较单元,所述脉冲输出单元检测所述电平比较单元输出电平的翻转以检测所述电流监控输出端是否有放电,所述脉冲输出单元检测到所述电平比较单元输出电平的翻转时输出高电平。

2.如权利要求1所述的放电检测电路,其特征在于,还包括电平转换单元,连接于所述电平比较单元和所述脉冲输出单元之间,接收所述电平比较单元输出电平,并转换为满足脉冲输出单元电平输入的电平。

3.如权利要求2所述的放电检测电路,其特征在于,所述电平转换单元包括一电压比较器和一晶体管,所述电压比较器的一输入端接收所述电平比较单元输出的翻转后的电平,所述电压比较器的另一输入端接地,所述电压比较器的输出端连接所述晶体管的基极,所述晶体管的发射极接地,所述晶体管的集电极连接所述脉冲输出单元。

4.如权利要求1所述的放电检测电路,其特征在于,所述脉冲输出单元包括脉冲输出主体和发光二极管,所述脉冲输出主体的第一输入端接收所述电平比较单元输出电平,所述脉冲输出主体的第一输出端连接所述发光二极管的阴极,所述发光二极管的阳极连接一第一外界电压,所述发光二极管的阴极作为所述脉冲输出单元的输出端,当所述脉冲输出主体检测到所述电流监控输出端有放电时,所述发光二极管熄灭。

5.如权利要求4所述的放电检测电路,其特征在于,所述脉冲输出单元还包括一电阻及一电容,所述脉冲输出主体通过所述电阻及电容控制所述高电平的持续时间。

6.如权利要求5所述的放电检测电路,其特征在于,所述发光二极管的阳极通过所述电阻连接所述外界电压,并通过所述电容接地。

7.如权利要求6所述的放电检测电路,其特征在于,所述脉冲输出单元还包括与门,所述与门的一输入端和输出端分别连接于所述脉冲主体和所述发光二极管之间,用于驱动所述发光二极管。

8.如权利要求7所述的放电检测电路,其特征在于,所述与门的另一输入端还分别连接所述脉冲输出主体的第二输入端和第三输入端,所述脉冲输出主体的第二输入端、第三输入端以及所述与门的另一输入端还接入一第二外界电压。

9.如权利要求4所述的放电检测电路,其特征在于,所述脉冲输出主体为非重触发单稳态触发器。

10.如权利要求1所述的放电检测电路,其特征在于,所述电平比较单元为比较器,其两个输入端分别接收所述电流监控输出端的电压和所述预定电压。

11.如权利要求1-10任意一项所述的放电检测电路,其特征在于,所述放电检测电路为离子注入机的放电检测电路。

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