[实用新型]多线切割机主轴轴承箱用的拆装装置

说明书

技术领域

本实用新型属于硅晶圆切割生产技术领域，主要是一种针对多线切割机主轴轴承箱的拆装装置。

背景技术

多线切割技术是硅晶圆加工的一种新型切割加工方法，它的工作原理是通过金属线缠绕在滚筒上，组成线网，金属线通过导轮系统的带动，高速往复运动，把刃料带入加工区域对硅晶圆进行研磨，将晶棒一次，同时切割成数百片厚度比较一致的薄片。

当今世界上，生产多线切割设备的厂家主要有：瑞士的MB公司，HCT公司。日本的NTC，不二越机械等。在2003年，世界光伏产业井喷式发展的环境下，中国光伏产业迅速崛起，国外生产厂家趁机打入中国市场。资料显示：NTC多线切割设备在中国的占有率大约为65%，其中,MWM442机型，因为，结构简单，人机界面操作方便，出片率高。国内硅行业大量采购。

MWM442DM工作原理：该机两根主轴线轮使用一台伺服电机驱动，主动轮和被动轮之间安装带有线槽的绕线滚筒，左右滚筒之间用金属线连接，用一定的张力缠绕数百圈，晶棒通过步进电机慢速进给，使晶棒通过高速运转的金属线网进行切割。由于金属线高速运动，滚筒处于高速旋转中，其旋转的灵活性，端跳，径跳对整个设备的可靠性起到关键作用。如果主轴轴承箱轴承出现问题，会造成工作不稳定，严重时会造成线网断线等故障，所以，主轴运行的好坏，对晶棒的切割数据起到主要影响。

在实际操作中，因为NTC442DM的工作区非常狭窄，轴承箱又非常重，拆装困难。并且，在操作中，有安全隐患。

实用新型内容

为了提高工作效率，保证操作安全可靠。本实用新型设计提出了一种多线切割机主轴轴承箱用的拆装装置，依托工作区限有位置，固定一块20mm厚的，经过热处理的铝合金板，把轴承箱通过拆卸式高度调整导块组件安装在铝合金底板的弧形轨道槽中。把轴承箱放于拆卸式高度调整导块组件上，微调拆卸式高度调整导块组件，直至与固定筒平行，用液压缸把轴承箱平行推进固定筒。

为实现上述发明目的，本实用新型采取的技术方案是：多线切割机主轴轴承箱用的拆装装置，由表面设有弧形轨道槽的底板和设置在底板上的拆卸式高度调整导块组件组成，所述的拆卸式高度调整导块组件由固定导块、移动导块和调节螺栓组成，固定导块的底面上设有可沿弧形轨道槽滑动的弧形凸面，固定导块的上端面为倾斜的斜面，移动导块可沿固定导块上滑动，其底面为与固定导块上端面相匹配的倾斜面，移动导块通过调节螺栓固定在固定导块上。

本实用新型所述的移动导块的顶面上设有防磨垫。

本实用新型所述的防磨垫的顶面为用于固定轴承箱的弧形凹面。

本实用新型有益效果是：

1、本装置使用方便，提高了安装的安全性，便捷性，方便轴承箱的拆卸。

2、拆卸式高度调整导块组件由下部固定导块，上部移动导块，调整螺栓，防磨垫组成。其中，下部固定导块底部有两条平行的半圆形凸面，与第一部分轨道槽相契合。上部移动导块表面覆盖一块有凹面的防磨垫，以防止轴承箱外表面磨伤。调整螺栓联接固定导块和移动导块，使移动导块在固定导块上平滑移动，调节高度。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的导块组件的结构示意图；

图3是本实用新型的导块组件的侧视结构示意图；

图4是本实用新型的使用状态示意图；

图中：1、底板，2、把手，3、弧形轨道槽，4、固定导块，5、移动导块，6、调整螺栓，7、防磨垫，8、弧形凸面，9、拆装装置，10、固定筒，11、主轴轴承箱。

具体实施方式

下面结合附图给出本实用新型的实施方式如下：如图1、图2、图3所示，本实用新型所述的一种针对多线切割机主轴轴承箱用的拆装装置，主要是由底板1、把手2、弧形轨道槽3、固定导块4、移动导块5、调整螺栓6、防磨垫7、弧形凸面8构成。其中底板1是采用合金铝材料加工制成，表面进行热处理，提高其机械强度和硬度。底板上开设有用以固定固定导块4的弧形轨道槽3。把手2用304不锈钢制成，可隐藏于底板中。用调整螺栓6联接固定导块4和移动导块5，用四氟材质制成的防磨垫7表面制成一个弧形凹面，附着于移动导块上，用以固定轴承箱。使用时，把底板1放置于多线切割机固定筒附近，把固定导块4的弧形凸面8放置在底板1的弧形轨道槽3中。将轴承箱放置于移动导块5上的防磨垫7中的弧形凹槽上，通过移动导块在固定导块上的相对滑动，实现移动导块与轴承箱之间的距离调整，待调整到合适高速，利用调整螺栓6将移动导块的位置固定，用液压缸把轴承箱水平推进固定筒。

通过调整螺栓6固定的方式如下：可将固定导块的一端竖直设置，在竖起设置的部分开设槽口，在移动导块按轴向方向开设插口，当移动导块位置调整完毕，调整螺栓卡在槽口内，其另一端插入插口，通过扭动螺母完成对移动导块的固定。