[实用新型]用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及立式沉积炉，具体涉及用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉。

背景技术

在合成石英玻璃熔制过程中，由石英锭慢降设备夹持的石英底锭从熔炉底部伸入沉积炉内的氢氧喷灯焦点处，并停留在此处接受氢氧火焰高温软化，为即将由下料装置输入并经过喷灯熔化的合成后的石英微粒与其粘结做好准备，当底锭表面软化状态达到能与熔化的石英微粒充分熔合时，慢降设备的机械臂牵引底锭旋转并下降，开始合成石英玻璃锭的熔制过程。在这一过程中，由于现有沉积炉的结构原因，其生产过程中产生的废气和废料不能及时均匀的排除炉外，致使合成石英玻璃锭的生长效率与生长周期低下，导致大规格、大重量的合成石英锭无法突破；同时也影响着合成石英玻璃锭的产品质量。

发明内容

本实用新型的目的在于，提供一种结构简单，实用性好，以解决现有沉积炉在合成石英玻璃锭熔制过程产生的废气和废料不能及时均匀的排除炉外，致使石英玻璃锭的生长效率与生长周期低下，导致大规格、大重量的合成石英锭无法突破；同时也影响着石英玻璃锭产品质量的问题的用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉。

本实用新型是通过如下的技术方案来实现上述目的的：

该用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉，包括沉积炉体、炉膛和烟囱，其特征在于：炉膛外围的沉积炉体上设置有环形烟道，环形烟道与炉膛之间的沉积炉体上呈十字交叉状设置有风道，环形烟道与炉膛之间通过风道连通，沉积炉体的外侧设置有抽风管，抽风管与环形烟道连通，所述的抽风管为U型体，抽风管上安装有烟囱。

本实用新型与现有技术相比的有益效果在于：

该用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉结构简单，实用性好，工作过程中产生的废气和废料能及时均匀的排除炉外；从而改善了二氧化硅沉积环境，并能充分利用热能，有效保持炉温，提高沉积效率，同时还能使能耗降低，达到节约能源的目的。解决了现有沉积炉在合成石英玻璃锭熔制过程产生的废气和废料不能及时均匀的排除炉外，致使石英玻璃锭的生长效率与生长周期低下，导致大规格、大重量的合成石英锭无法突破，同时也影响着石英玻璃锭产品质量的问题。特别适用于生产合成大尺寸石英玻璃锭使用。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图，

图2为本实用新型的截面结构示意图。

图中：1、沉积炉体，2、炉膛，3、烟囱，4、环形烟道，5、风道，6、抽风管。

具体实施方式

该用于生产大尺寸石英玻璃锭的立式沉积炉包括沉积炉体1、炉膛2和烟囱3。炉膛2外围的沉积炉体1上设置有环形烟道4，环形烟道4与炉膛2之间的沉积炉体1上呈十字交叉状设置有风道5，环形烟道4与炉膛2之间通过风道5连通，沉积炉体1的外侧设置有U型体的抽风管6，抽风管6与环形烟道4连通。

该立式沉积炉的抽风管6上安装有烟囱3；工作过程中，氢气和氧气在燃烧器中燃烧产生水蒸气后与燃烧器下料管中气态四氯化硅反应产生二氧化硅微粒。二氧化硅微粒在该立式沉积炉中的沉积砣面上沉积形成石英玻璃锭。这一过程中，产生的废气和废料通过风道5、环形烟道4、抽风管6和烟囱3及时均匀的排除炉外；从而改善了二氧化硅的沉积环境，使热能能充分利用，并有效保持炉温，提高沉积效率。同时还能使能耗降低，达到节约能源的目的。

由于该立式沉积炉的炉膛2上均布有风道5，且风道5与环形烟道4连通，从而使生产过程中的废气和废料得以及时均匀的排除炉外；进而使石英玻璃锭生长效率与生长周期得到显著提高；解决了现有熔炉在石英玻璃锭熔制过程产生的废气和废料不能及时均匀的排除炉外，致使石英玻璃锭的生长效率与生长周期低下，导致大规格、大重量的合成石英锭无法突破，同时也影响着石英玻璃锭产品质量的问题。

采用该立式沉积炉生产合成石英玻璃锭，其沉积速率为500-600克/每小时，可生产重量达600公斤以上，直径在600－700毫米的石英玻璃锭。相比现有工艺生产效率可提高1－1.5倍。特别适用于生产大尺寸石英玻璃锭使用。