[实用新型]用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉有效
申请号: | 201520595890.5 | 申请日: | 2015-08-10 |
公开(公告)号: | CN204874270U | 公开(公告)日: | 2015-12-16 |
发明(设计)人: | 黄若杰;刘建元;周轶;商春利 | 申请(专利权)人: | 湖北菲利华石英玻璃股份有限公司 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00 |
代理公司: | 荆州市亚德专利事务所 42216 | 代理人: | 陈德斌 |
地址: | 434000 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 生产 尺寸 合成 石英玻璃 立式 沉积 | ||
【权利要求书】:
1.用于生产大尺寸合成石英玻璃锭的立式沉积炉,包括沉积炉体(1)、炉膛(2)和烟囱(3),其特征在于:炉膛(2)外围的沉积炉体(1)上设置有环形烟道(4),环形烟道(4)与炉膛(2)之间的沉积炉体(1)上呈十字交叉状设置有风道(5),环形烟道(4)与炉膛(2)之间通过风道(5)连通,沉积炉体(1)的外侧设置有抽风管(6),抽风管(6)与环形烟道(4)连通,所述的抽风管(6)为U型体,抽风管(6)上安装有烟囱(3)。
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