[实用新型]一种直供冲水的湿法插片机有效
申请号: | 201520565643.0 | 申请日: | 2015-07-31 |
公开(公告)号: | CN204809245U | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 荆新杰;刘巍;李宁;李佩剑;韩庆辉;周为贞;牛猛;朱瑞忠 | 申请(专利权)人: | 阳光硅峰电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 065201 河北省廊坊市三河市*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 冲水 湿法 插片机 | ||
技术领域
本实用新型涉及光伏晶体硅片多线切割设备技术领域,尤其是涉及硅片插装花篮工序中的一种直供冲水的湿法插片机。
背景技术
光伏晶体硅加工工序,多线切割、脱胶完毕后,需将硅片插入花篮中,以为下道清洗工序做好准备。当前,最为先进的插片设备为全自动的湿法插片机,其工作原理为通过前喷头水流冲击,将硅片冲起,从而顺着皮带带走硅片,最终完成插片。由于脱胶工序普遍采用乳酸浸泡脱胶方式,因此硅片间存留较多乳酸,乳酸在水内极易形成结絮。
自来水补进插片机插片槽后,采用内循环方式冲片,管道容易产生较多结絮,虽然有另一路自来水补给进硅片水槽内,作为溢流稀释,但仍不能有效解决结絮现象。一般运行两周时间结絮达到4-6mm厚,因此,需经常拆卸管道、水泵清理。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种直供冲水的湿法插片机,改内循环方式为直接供给自来水,水量与原来用量相当,采用中间储水槽方式,避免管道内抽空或管道内压力变化,影响冲片水流速度,从而稳定插片工艺,并有效防止管道内不结絮。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:
本实用新型一种直供冲水的湿法插片机,包括
中转水槽,所述中转水槽内上端一侧设置有进水管道,所述进水管道延伸到中转水槽内的部分连接有用于测水位的漂浮阀门,所述中转水槽内下端设置有过滤器;
硅片水槽,所述硅片水槽内一侧设置有硅片篮,所述硅片篮内放置有硅片,所述硅片篮的近上端设置有用于传送硅片的吸附传输机构,所述吸附传输机构包括一级传送带和用于将硅片吸附到一级传送带上的吸附装置;
所述中转水槽内的过滤器通过第一连接水管连接离心水泵,所述离心水泵通过第二连接水管连通到硅片水槽内,所述第二连接水管连通到硅片水槽内的一端连接有喷头。
进一步的,所述一级传送带一端位于硅片篮上方,另一端设置有二级传送带。
进一步的,所述喷头的喷水方向朝向硅片篮内的硅片。
进一步的,所述过滤器和离心水泵之间的第一连接水管上设置有单向阀,满足中转水槽的高度低于硅片水槽位置时的安装。
进一步的,所述第一连接水管与中转水槽的连接处设置有防止漏水的密封圈。
进一步的,所述第二连接水管与硅片水槽的连接处设置有防止漏水的密封圈。
进一步的,所述中转水槽的上部分有开口结构,与大气相通。
本实用新型的有益效果为:管道内不结絮,水流压力稳定,用水量不增加,停止冲片便停止溢流水量。
下面结合附图说明对本实用新型作进一步说明。
附图说明
图1为本实用新型直供冲水的湿法插片机的结构示意。
附图标记说明:1-离心水泵;2-单向阀;3-中转水槽;4-过滤器;5-进水管道;6-浮漂阀门;7-二级传送带;8-一级传送带;9-吸附装置;10-硅片篮;11-硅片;12-喷头;13-硅片水槽;14-第一连接水管;15-第二连接水管。
具体实施方式
于一实施例中,如图1所示,一种直供冲水的湿法插片机,包括中转水槽3和硅片水槽13;中转水槽3的上部分有开口结构,与大气相通,从而屏蔽进水管道压力波动带来的影响,中转水槽3内上端一侧设置有进水管道5,进水管道5延伸到中转水槽3内的部分连接有用于测水位的漂浮阀门6,方便观看水位,中转水槽3内下端设置有过滤器4,硅片水槽13内一侧设置有可上、下移动硅片篮10,硅片篮10内放置有硅片11,硅片篮10的近上端设置有用于传送硅片11的吸附传输机构,该吸附传输机构包括一级传送带8和用于将硅片11吸附到一级传送带8上的吸附装置9,一级传送带8一端位于硅片篮10上方,另一端设置有二级传送带7;中转水槽3内的过滤器4通过第一连接水管14连接离心水泵1,离心水泵1通过第二连接水管15连通到硅片水槽13内,第二连接水管15连通到硅片水槽13内的一端连接有喷头12,过滤器4和离心水泵1之间的第一连接水管14上设置有单向阀2,满足中转水槽3的高度低于硅片水槽13位置时的安装,节省设备整体体积,喷头12的喷水方向朝向硅片篮10内的硅片11。其中第一连接水管14与中转水槽3的连接处设置有防止漏水的密封圈,第二连接水管15与硅片水槽13的连接处设置有同样的防止漏水的密封圈。
本实用新型的工作过程如下:
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