[实用新型]一种太阳能电池外延片有效
申请号: | 201520517528.6 | 申请日: | 2015-07-16 |
公开(公告)号: | CN204991737U | 公开(公告)日: | 2016-01-20 |
发明(设计)人: | 黄添懋;杨晓杰;刘凤全;叶继春 | 申请(专利权)人: | 苏州强明光电有限公司 |
主分类号: | H01L31/0693 | 分类号: | H01L31/0693;H01L31/18 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 张建纲 |
地址: | 215614 江苏省苏州市张*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 外延 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域。具体地说,涉及一种太阳能电池外延片。
背景技术
GaAs太阳能电池技术发展迅速,应用领域从太空应用逐步扩展到地面应用,在便携式能源和消费电子领域市场前景广阔。利用外延剥离技术(ELO技术)制作GaAs太阳能电池,一方面可以将GaAs衬底剥离后重复利用,显著降低产品成本;另一方面,可制作柔性的GaAs太阳能电池,不仅效率比剥离前有所提高,且产品质量更轻并具有柔性,更有利于航空航天和便携式应用等,用途广泛。
现有技术中利用外延剥离技术制作GaAs太阳能电池的过程一般为:首先,利用外延生长技术制作出具有GaAs衬底、AlGaAs牺牲层和GaAs电池层的太阳能电池外延片;然后,在GaAs电池层上表面设置金属电极,并将设置了金属电极的一侧粘贴(例如用双面胶、光刻胶、腊等)到转移衬底(如很薄的铜片、塑料薄膜等)上;最后,将其整个浸入选择性腐蚀的酸性溶液中,由于酸性溶液对AlGaAs牺牲层的选择性腐蚀(如氢氟酸对AlGaAs和GaAs的腐蚀选择比很大),最终使得GaAs衬底与GaAs电池层被分开。衬底被剥离后经过处理可以重复利用,而在剥离下来的GaAs电池结构上进一步制作金属栅极和减反膜等,即可形成GaAs太阳能电池。
GaAs电池层与衬底分离所需的时间取决于选择性腐蚀的酸性溶液对牺牲层的腐蚀快慢。上述利用外延剥离技术制作太阳能电池时,牺牲层是在衬底上制作的一层结构连续的、厚度均匀的、且x为确定值的AlxGa1-xAs层。理想状况下,通过常规的方法剥离一片4英寸的GaAs薄膜电池需要3~6个小时甚至更长时间。且通常情况下,部分牺牲层被腐蚀后,其对应区域的GaAs电池层就与衬底分开,而后选择性腐蚀的酸性溶液就会通过GaAs电池层与衬底分开后形成的通道去腐蚀其他部分牺牲层。因此,较早被腐蚀的牺牲层部分对应的GaAs电池层和衬底(一般是太阳能电池外延片外围边沿处)就会与选择性腐蚀的酸性溶液直接接触直到所有的牺牲层被腐蚀掉,即外延剥离工艺完成。虽然说,一般选用的HF溶液对AlGaAs(牺牲层)和GaAs(GaAs电池层和衬底)的腐蚀选择比很大,但是在生产环境中,HF溶液中难免会引入其他酸类(盐酸、硫酸、磷酸等)物质或者杂质,加上溶液中溶解的氧分子,很容易导致较早被腐蚀的牺牲层部分对应的GaAs电池层和衬底被缓慢地腐蚀。由于其被腐蚀的速度较慢,因此该过程不易被实时监控,但在整个剥离过程所需的几个小时后,衬底的表面和GaAs电池层的剥离面将会形成若干针孔或类似缺陷。这对于衬底的反复利用以及太阳能电池产品的性能都会造成一定程度的负面影响,甚至造成产线的整体良品率下降。
实用新型内容
为此,本实用新型所要解决的技术问题在于现有技术中利用外延剥离技术制作太阳能电池时,较早被腐蚀的牺牲层部分对应的衬底和太阳能电池层因长时间与腐蚀液直接接触导致被缓慢腐蚀,提出一种可以使得远离衬底和太阳能电池层的牺牲层部分被快速腐蚀掉而接近衬底和太阳能电池层的牺牲层部分较慢被腐蚀掉的太阳能电池外延片,从而保护衬底和太阳能电池层。
为解决上述技术问题,本实用新型提供了如下技术方案:
一种太阳能电池外延片,包括依次设置的衬底、缓冲层、组合牺牲层和太阳能电池层,组合牺牲层至少包括第一牺牲层、第二牺牲层和第三牺牲层,第一牺牲层紧贴缓冲层设置,第三牺牲层紧贴太阳能电池层设置,第二牺牲层设置于第一牺牲层与第三牺牲层之间。
优选地,第二牺牲层为中间层,第一牺牲层和第二牺牲层之间至少还包括一层牺牲层、第二牺牲层和第三牺牲层之间至少还包括一层牺牲层。
优选地,第一牺牲层和第二牺牲层之间设有第四牺牲层,第二牺牲层和第三牺牲层之间设有第五牺牲层。
优选地,从第一牺牲层至第二牺牲层的各层的厚度依次递减,从第二牺牲层至第三牺牲层的各层的厚度依次递增。
优选地,第一牺牲层的厚度为0.2~3微米,第二牺牲层的厚度为0.1~2微米,第三牺牲层的厚度为0.2~3微米。
优选地,太阳能电池层依次包括第一欧姆接触层、第一窗口层、发射区、基区、背场、第二窗口层和第二欧姆接触层。
优选地,第一欧姆接触层的厚度为50-300纳米,第一窗口层的厚度为10-100纳米,发射区、基区和背场的总厚度为2-5微米,第二窗口层的厚度为10-100纳米,第二欧姆接触层的厚度为50-300纳米。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州强明光电有限公司,未经苏州强明光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520517528.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种建筑施工安全防护门可调节的自锁装置
- 下一篇:一种装饰材料
- 同类专利
- 一种基于多量子阱结构的太阳能电池-201822151260.5
- 郭建廷;李方红;常嘉兴 - 深圳市科创数字显示技术有限公司
- 2018-12-20 - 2019-08-02 - H01L31/0693
- 本实用新型公开了一种基于多量子阱结构的太阳能电池,所述基于多量子阱结构的太阳能电池包括依次层叠设置的衬底、缓冲层、n‑GaN层、MQW吸收层、p‑GaN复合层和电流扩散层,所述p‑GaN复合层包括表面设有图案化凹陷区域的p‑GaN层和形成于所述图案化凹陷区域的纳米材料,所述纳米材料为纳米金属或量子点材料。本实用新型通过在图案化凹陷区域中设置纳米材料,能够进一步改善太阳能电池能量转换效率,具有较好的应用前景。
- 一种基于多量子阱结构的太阳能电池及其制备方法-201811562079.1
- 郭建廷;李方红;常嘉兴 - 深圳市科创数字显示技术有限公司
- 2018-12-20 - 2019-04-23 - H01L31/0693
- 本发明公开了一种基于多量子阱结构的太阳能电池及其制备方法,所述基于多量子阱结构的太阳能电池包括依次层叠设置的衬底、缓冲层、n‑GaN层、MQW吸收层、p‑GaN复合层和电流扩散层,所述p‑GaN复合层包括表面设有图案化凹陷区域的p‑GaN层和形成于所述图案化凹陷区域的纳米材料,所述纳米材料为纳米金属或量子点材料。本发明通过在图案化凹陷区域中设置纳米材料,能够进一步改善太阳能电池能量转换效率,具有较好的应用前景。
- III-V族半导体材料的光伏器件及其形成方法-201710057541.1
- H·聂;B·M·卡耶斯;I·C·凯兹亚力 - 埃尔塔设备公司
- 2012-02-09 - 2018-12-21 - H01L31/0693
- 本发明的实施方案通常涉及光伏器件。在一个实施方案中,形成砷化镓基光伏器件的方法包括:提供半导体结构,所述结构包括包含砷化镓的吸收层。提供在半导体结构的p‑n接面中的旁路功能,其中在反向偏压条件下p‑n接面以受控方式通过齐纳击穿效应击穿。
- 一种最优光电效能的半导体纳米线阵列制备方法-201710387962.0
- 夏辉;童中英;李天信;陈平平;卢振宇;张健;姚晓梅;张旭涛;唐舟 - 中国科学院上海技术物理研究所
- 2017-05-27 - 2017-10-13 - H01L31/0693
- 本发明公开了一种最优光电效能的半导体纳米线阵列制备方法,该方法首先通过热蒸发沉积金膜并退火形成无规均匀分布的催化剂颗粒,然后根据拟制备的III‑V族纳米线材料体系,选择最优V/III束流比,在不同的衬底温度下生长一系列的纳米线阵列试样,再使用导电原子力显微镜,对试样进行单纳米线垂直光电性能的统计评估,最后根据单纳米线的平均光电性能确定最佳制备条件。本方法适用于催化分子束外延生长砷化镓等III‑V族纳米线阵列,通过金属催化,使用直接、快速、简易的方法评估和确定纳米线阵列的最优生长条件,进而制备出一种最佳光电效能的半导体纳米线阵列,因此,本方法对高效太阳能电池和超灵敏光电探测器的制造有重要意义。
- 一种太阳能电池外延片及其制作方法-201510419281.9
- 黄添懋;杨晓杰;刘凤全;叶继春 - 苏州强明光电有限公司
- 2015-07-16 - 2017-03-08 - H01L31/0693
- 一种太阳能电池外延片及其制作方法,该太阳能电池外延片包括依次设置的衬底、缓冲层、组合牺牲层和太阳能电池层,组合牺牲层包括第一牺牲层、第二牺牲层和第三牺牲层,第一牺牲层紧贴缓冲层设置,第三牺牲层紧贴太阳能电池层设置,第二牺牲层设置于第一牺牲层与第三牺牲层之间,且第二牺牲层的被腐蚀速度快于第一牺牲层和第三牺牲层的被腐蚀速度。解决了现有技术中利用外延剥离技术制作太阳能电池时较早被腐蚀的牺牲层部分对应的衬底和太阳能电池层因长时间与腐蚀液直接接触导致被缓慢腐蚀的技术问题。该外延片可以减少腐蚀液对衬底和太阳能电池层的损害,保证衬底的重复利用和太阳能电池产品的性能。
- InGaN/Ge四结太阳电池及制造工艺方法-201510926982.1
- 张启明;张恒;唐悦;刘如彬;高鹏;薛超;孙强 - 中国电子科技集团公司第十八研究所
- 2015-12-11 - 2016-03-30 - H01L31/0693
- 本发明公开了一种InGaN/Ge四结太阳电池及制造工艺方法,属于太阳能电池结构技术领域,其特征在于:所述InGaN/Ge四结太阳电池包括自下而上的:锗衬底、AlN成核层、GaN缓冲层、第一隧道结、InaGa1-aN电池、第二隧道结、InbGa1-bN电池、第三隧道结、IncGa1-cN电池、帽层、以及半透明电流扩展层;通过采用上述技术方案,本发明采用正向结构的四结太阳能电池,缩短了工艺流程,易于制作;本结构的理论转换效率可达到55%以上,并可作为完整的电池直接应用;本发明将锗衬底作为底电池使用,有效的提升了太阳电池的性能。
- 一种太阳能电池外延片-201520517528.6
- 黄添懋;杨晓杰;刘凤全;叶继春 - 苏州强明光电有限公司
- 2015-07-16 - 2016-01-20 - H01L31/0693
- 一种太阳能电池外延片,该太阳能电池外延片包括依次设置的衬底、缓冲层、组合牺牲层和太阳能电池层,组合牺牲层包括第一牺牲层、第二牺牲层和第三牺牲层,第一牺牲层紧贴缓冲层设置,第三牺牲层紧贴太阳能电池层设置,第二牺牲层设置于第一牺牲层与第三牺牲层之间,且第二牺牲层的被腐蚀速度快于第一牺牲层和第三牺牲层的被腐蚀速度。解决了现有技术中利用外延剥离技术制作太阳能电池时较早被腐蚀的牺牲层部分对应的衬底和太阳能电池层因长时间与腐蚀液直接接触导致被缓慢腐蚀的技术问题。该外延片可以减少腐蚀液对衬底和太阳能电池层的损害,保证衬底的重复利用和太阳能电池产品的性能。
- 砷化镓太阳能电池-201520653682.6
- 李云 - 河北英沃泰电子科技有限公司
- 2015-08-27 - 2015-12-16 - H01L31/0693
- 本实用新型公开了一种砷化镓太阳能电池,涉及太阳能电池技术领域。所述太阳能电池自下而上分别为衬底层、第一电池结、第一隧道结、第二电池结、第二隧道结、第三电池结、第N隧道结、第N+1电池结,依次类推以及接触层,电池结之间通过隧道结进行连通,其中N为大于2的自然数;接触层的上表面为欧姆接触金属层,欧姆接触金属层的周围为减反射膜,衬底的下表面为背面金属化层,背面金属化层的下表面为铜基板层。所述太阳能电池具有厚度薄,柔性好,散热好,光电转换效率高,牢固可靠的特点。
- 一种柔性多结GaAs太阳电池-201320649984.7
- 李俊承;杨凯;白继峰;许杰林;吴洪清;张永;蔡建九;方天足;张银桥;王向武 - 扬州乾照光电有限公司
- 2013-10-22 - 2014-04-09 - H01L31/0693
- 一种柔性多结GaAs太阳电池,属于半导体材料技术领域,包括柔性衬底、上电极、下电极和由底电池、中电池、顶电池构成的电池外延结构,所述柔性衬底设置在电池外延结构的底电池背面,所述下电极设置在柔性衬底的另一面,在电池外延结构的顶电池上面设置两个上电极,在所述两个上电极之间设置减反射膜。本实用新型具有一定的柔韧性,能够更好的节省空间。使用一种方法,在柔性衬底上制作出图形,并且通过金属使整个电池结构上下导通,在保持柔性的基础上可以直接应用于目前成熟的封装技术,并且适用于不同形状的组件。
- 一种选择性发射极锑化镓红外电池及其制备方法-201310419829.0
- 汤亮亮;叶宏 - 中国科学技术大学
- 2013-09-13 - 2013-12-25 - H01L31/0693
- 本发明公开了一种选择性发射极锑化镓红外电池及其制备方法,包括锌扩散法制备PN结、制备电极、表面钝化、制备减反射层等步骤;特征是采用锌-镓合金作为扩散源进行密封式锌扩散在N型锑化镓晶片中形成仅具有单扩散前沿的锌浓度曲线。采用本发明的方法可以有效遏制扩散后锑化镓晶片表面的高浓度扩散层,解决传统扩散过程后精确腐蚀难以控制的问题;采用本发明的方法在制备PN结的过程中不需要通入任何保护气体,降低了锑化镓电池的成本;采用本发明方法制备的本发明的选择性发射极锑化镓红外电池,其内部的单扩散前沿锌曲线通过扩散直接形成,无需采用腐蚀过程,因此其电学输出性能稳定,可用于红外光电转换系统中作为电能转换元件。
- 垂直结构InGaN太阳能电池及其制备方法-201310084674.X
- 张保平;蔡晓梅;张江勇;余健;王宇 - 厦门大学
- 2013-03-15 - 2013-06-12 - H01L31/0693
- 垂直结构InGaN太阳能电池及其制备方法,涉及太阳能电池。所述垂直结构InGaN太阳能电池设有:支撑衬底;键合介质层;金属反射镜层;p-GaN层;InGaN吸收层;n-GaN层;栅状电极。在外延片表面镀上金属电极,并当作反射镜使用;将镀上反射镜的外延片倒置键合于支撑基板上;采用激光剥离技术剥离蓝宝石衬底,将外延薄膜转移到支撑基板上;粗化n-GaN表面;制作器件台面;制作栅状n-GaN表面电极,得垂直结构InGaN太阳能电池。可以避免同侧电极带来的电流不均匀性和局部热效应,延长电池的使用寿命;在电池的背面制作反射镜,增强了对入射光的吸收,增大光生载流子数目,从而有效提高电池的光电转换效率。
- 光伏电池-201080014930.2
- R·C·哈珀 - IQE硅化合物有限公司
- 2010-02-17 - 2012-03-21 - H01L31/0693
- 本发明公开了一种诸如太阳能电池等光伏电池,其含有一个或多个与GaAs基本晶格匹配的SiGe或另一锗材料的外延生长层。使用包括将所述GaAs和锗材料间的边界用作蚀刻终止物的方法可以除去用于生长所述层的GaAs衬底。
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的