[实用新型]一种片盒存取设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其是一种片盒存取设备。

背景技术

半导体器件制造常常会有几百道工艺，每道工艺都由特定的设备完成，为了满足半导体制造业的高产率和高效率的需求，硅片和片盒需要强大的管理系统和智能化的片盒存取，物料管理的自动化是必然的趋势，片盒存取设备是半导体厂房内片盒存取和管理的设备，用于标准的12寸或8寸硅片片盒存取和管理。

美国专利US2008/0041694中提出了一种带有缓存模块的片盒存取设备，可以通过软件系统进行预操作，即通过预测下一步工艺进而将要用到的片盒提前放置到缓存区域中，这样机械手可以在缓存模块中进行取放，能够节省用户的等待时间。

上述美国专利的结构图如图1所示，该片盒存取设备包含一个缓存模块60，缓存模块60存在以下问题：片盒存取设备需要强大的软件系统作为支撑，如果在一些没有制造执行系统或物料管理系统的情况下则不适用；另外一个缺陷就是，在用户、OHT(OverheadTransferSystem)或AGV(AutomatedGuidedVehicle)将片盒放置在缓存模块后，由于上述美国专利中的缓存模块是静态的，于是只能依靠机械手40将片盒放置在片盒存取设备中或从片盒存取设备中取出，非常耗费时间，不具备灵活性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新型的具有动态缓存装置的片盒存取设备，以有效地提高片盒的传送效率，避免用户或其他运输设备无效的等待时间。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种片盒存取设备，包括：

第一支撑架，用于放置片盒；

片盒进出口，设置存放或取出片盒的工作工位；

缓存区，具有多个动态运行的工位，用于动态运输从所述片盒进出口处放置在缓存区中的片盒或者将缓存区的工位处的片盒动态运输至片盒进出口处；

机械手，在缓存区及第一支撑架之间搬运片盒。

进一步地，所述片盒进出口处设置存放或取出片盒的动态运行的工作工位，片盒通过在所述工作工位以及缓存区的工位之间运动实现进出缓存区。

进一步地，所述片盒存取设备还包括驱动模块，通过所述驱动模块驱使机械手运动，以及驱使缓存区的工位动态运行。

进一步地，所述缓存区包括进口缓存区和出口缓存区，所述进口缓存区用于暂存从片盒进出口处放置的片盒，所述出口缓存区用于将出口缓存区中的片盒输出至片盒进出口处以供取出。

进一步地，所述进口缓存区和出口缓存区分离设置。

进一步地，所述进口缓存区和出口缓存区均为直线结构。

进一步地，所述进口缓存区和出口缓存区重合设置。

进一步地，所述缓存区为直线结构。

进一步地，所述缓存区包括传输装置和支撑装置，所述传输装置设置在支撑装置上，通过所述传输装置传输缓存区中的片盒，所述机械手在传输装置及第一支撑架之间搬运片盒。

进一步地，所述传输装置为滚轴。

进一步地，所述片盒进出口的工作工位处设置有滚轴，通过所述工作工位处的滚轴及缓存区的工位处的滚轴的滚动实现片盒进出缓存区。

进一步地，所述工作工位处及缓存区的任一工位处滚轴的数量均为多个，所述工作工位处及缓存区的任一工位处的多个滚轴同时运动或同时停止。

进一步地，所述片盒存取设备还包括升降旋转机构，所述升降旋转机构设置在片盒进出口的工作工位处和/或缓存区的工位处，通过升降所述升降旋转机构使得放置在升降旋转机构上的片盒落在该升降旋转机构处的滚轴上，通过旋转所述升降旋转机构调整该升降旋转机构上片盒的姿态。

进一步地，所述片盒存取设备还包括第一位置传感器，所述第一位置传感器设置在片盒进出口的工作工位处，用于检测所述工作工位处的片盒存放状态，所述第一位置传感器还设置在支撑装置上，所述缓存区的每个工位处均设置有第一位置传感器，用于检测所述缓存区的工位处的片盒存放状态。

进一步地，所述传输装置为皮带。

进一步地，所述缓存区为循环电梯结构，所述缓存区包括多个第三支撑架，多个所述第三支撑架两两间隔设置并围设成环形结构，通过所述机械手在片盒进出口的工作工位处及第三支撑架上来回搬运片盒以实现片盒的进出，通过所述驱动模块驱动当前一个第三支撑架移动至相邻的下一个第三支撑架的位置。

进一步地，所述片盒存取设备还包括第二支撑架，通过在所述片盒进出口处设置第二支撑架以形成放置片盒的工作工位。

进一步地，所述片盒存取设备还包括控制系统，所述控制系统与驱动模块连接。